[發明專利]一種帶有銅合金背板的鎳鉑合金靶材及其制備方法

有效

• 申請號: 201410424946.0
• 申請日: 2014-08-11
• 公開（公告）號: CN104178739B
• 公開（公告）日: 2017-03-15
• 發明（設計）人: 邵玲;王廣欣;趙學義
• 申請（專利權）人: 昆山海普電子材料有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司32103
• 代理人: 孫仿衛,汪青

1.?一種帶有銅合金背板的鎳鉑合金靶材的制備方法，其特征在于：包括依次進行的步驟如下：

（1）、對鉑含量在5~20at.%之間的鎳鉑合金靶材坯料和銅合金板坯的表面進行機械加工，然后進行化學清洗；

（2）、將經過步驟（1）處理后的銅合金板坯和鎳鉑合金靶材坯料依次裝入包套容器中，然后將所述的包套容器封焊，并在所述的包套容器上焊接一個出氣管；

（3）、通過所述的出氣管對所述的包套容器抽真空，然后將所述的出氣管焊死；

（4）、然后進行熱等靜壓處理；

（5）、熱等靜壓處理后去除所述的包套容器，并對焊接成一體的鎳鉑合金靶材坯料和銅合金板坯進行機加工，從而獲得所述的帶有銅合金背板的鎳鉑合金靶材。

2.?根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（1）中，所述的鉑含量在5~20at.%之間的鎳鉑合金靶材坯料的晶粒尺寸小于100μm。

3.?根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（1）中，所述的機械加工后的鎳鉑合金靶材坯料和銅合金板坯之間的粘接面的光潔度為0.5~2μm。

4.?根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（1）中，使用有機清洗溶劑進行所述的化學清洗。

5.?根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于：所述的有機清洗溶劑為異丁醇、異丙醇、混丙醇中的任一種。

6.?根據權利要求5所述的制備方法，其特征在于：所述的有機清洗溶劑為異丙醇。

7.?根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述的銅合金板坯的直徑大于所述的鎳鉑合金靶材坯料的直徑。

8.?根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述的包套容器的材質為不銹鋼、碳鋼或鈦。

9.?根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（4）中，升溫至575℃~800℃，充入氬氣至100~200Mpa下進行所述的熱等靜壓處理，保溫保壓時間為5~7小時。

10.?一種采用權利要求1至9中任一項所述的制備方法制得的帶有銅合金背板的鎳鉑合金靶材。