[發明專利]MEMS器件

有效

• 申請號: 201410423786.8
• 申請日: 2014-08-26
• 公開（公告）號: CN104418289B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發明（設計）人: S.巴爾岑;A.德赫
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;B81C1/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 張濤,胡莉莉

1.一種MEMS器件，包括：

背板電極；以及

隔膜，與所述背板電極間隔開，其中，所述隔膜包括可移位部分和固定部分；

其中，布置所述背板電極和所述隔膜，以使得所述隔膜的所述固定部分與所述背板電極的重疊區域小于最大重疊。

2.如權利要求1所述的MEMS器件，其中，所述背板電極包括：分段,在有源背板部分與另一背板部分之間提供電隔離，所述有源背板部分面對所述隔膜的所述可移位部分。

3.如權利要求2所述的MEMS器件，其中，所述有源背板部分是介質部分，并且其中，所述另一背板部分是邊緣部分。

4.如權利要求1所述的MEMS器件，其中，所述背板電極包括：接合層，其將所述背板電極拉平。

5.如權利要求4所述的MEMS器件，其中，所述接合層包括：介電材料。

6.如權利要求4所述的MEMS器件，除了所述背板電極，還包括：在所述隔膜的相反側處的第二背板電極，所述第二背板電極包括第二接合層，其中，所述接合層和所述第二接合層分別接合到所述背板電極和所述第二背板電極的表面，面對彼此或面對相反方向。

7.如權利要求1所述的MEMS器件，除了所述背板電極，還包括：第二背板電極，在所述隔膜的相反側處，其中，

布置所述背板電極和所述第二背板電極，以使得在與所述隔膜的所述固定部分對應的區域中，相關于彼此的重疊區域包括最大重疊；以及

布置所述隔膜，以使得在所述固定部分中，相關于所述背板電極和所述第二背板電極這兩者的重疊區域小于最大重疊。

8.如權利要求1所述的MEMS器件，其中，所述背板電極或所述隔膜的圓周包括：凹部，被適配為減少相關于彼此的重疊區域。

9.如權利要求8所述的MEMS器件，其中，所述凹部具有半圓形形狀、圓形分段形狀或城堞形狀。

10.如權利要求8所述的MEMS器件，其中，以等距方式沿著所述圓周布置所述凹部。

11.如權利要求10所述的MEMS器件，其中，所述背板電極和所述隔膜包括相同數量的凹部，并且被布置為使得所述凹部彼此有角地偏移。

12.如權利要求11所述的MEMS器件，其中，所述背板電極和所述隔膜的所述凹部的有角偏移包括導致對彼此的最小重疊的值。

13.如權利要求1所述的MEMS器件，除了所述背板電極，還包括：在所述隔膜的相反側處的第二背板電極；襯底，被適配為對支撐結構進行支撐；保護環，插入在所述襯底與所述支撐結構之間，所述保護環與所述第二背板電極關聯，并且被適配為減少所述支撐結構中的寄生電容。

14.如權利要求13所述的MEMS器件，其中，所述保護環被以圓周方式插入并且被適配為減少所述第二背板電極與所述襯底之間的寄生電容。

15.如權利要求13所述的MEMS器件，還包括：附加保護環，布置在所述支撐結構中，所述附加保護環分別與所述背板電極和所述隔膜關聯。

16.如權利要求1所述的MEMS器件，其中，所述背板電極和所述隔膜的每一個包括導電材料。

17.一種靜電換能器，包括：

背板電極；

隔膜，與所述背板電極間隔開，其中，所述隔膜包括可移位部分和固定部分；

其中，布置所述背板電極和所述隔膜，以使得所述隔膜的所述固定部分與所述背板電極的重疊區域小于最大重疊；以及

其中，所述靜電換能器被配置為：響應于所述隔膜相關于所述背板電極的運動而創建輸出信號。

18.如權利要求17所述的靜電換能器，

其中，所述背板電極包括：分段,?在有源背板部分與另一背板部分之間提供電隔離，所述有源背板部分面對所述隔膜的所述可移位部分；以及

其中，所述有源背板部分是中心部分，并且其中，所述另一背板部分是外周部分。

19.一種用于制造包括背板電極和與所述背板電極間隔開的隔膜的MEMS器件的方法，其中，所述隔膜包括可移位部分和固定部分，所述方法包括：

組裝所述背板電極和所述隔膜，以使得所述隔膜的所述固定部分與所述背板電極的重疊區域小于最大重疊。