[發明專利]用于檢測等離子處理室中激發步驟的電容耦合靜電（CCE）探針裝置及其方法無效
| 申請號： | 201410422254.2 | 申請日： | 2009-07-07 |
| 公開（公告）號： | CN104320899A | 公開（公告）日： | 2015-01-28 |
| 發明（設計）人： | 杰-保羅·布斯;道格拉斯·L·凱爾 | 申請（專利權）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分類號： | H05H1/00 | 分類號： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 上海勝康律師事務所 31263 | 代理人： | 李獻忠 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 檢測 等離子 處理 激發 步驟 電容 耦合 靜電 cce 探針 裝置 及其 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種識別等離子處理系統的處理室內穩定的等離子的系統，包括：
裝置，用于在所述處理室執行實際蝕刻步驟之前的激發步驟以生成等離子，其中所述裝置包括
裝置，用于在所述處理室內施加高的氣壓以確保等離子引發，以及
裝置，用于在所述處理室內維持比實際蝕刻過程中的射頻功率低的射頻(RF)功率；
裝置，用于采用探針頭以采集一組所述激發步驟過程中的特性參數測量值，通過監測所述特性參數測量值，檢測等離子激發的信號階躍特征，所述探針頭在所述處理室的表面上，其中所述表面靠近襯底表面；以及
裝置，用于將該組特性參數測量值與預定的范圍對比，如果該組特性參數測量值不在所述預定的范圍內，則所述等離子不穩定并且應用校正動作，如果該組特性參數測量值在所述預定的范圍內，則存在所述穩定的等離子且所述激發步驟結束，從而檢測所述激發步驟是否成功并最小化執行所述激發步驟所需的持續時間。
2.根據權利要求1所述的系統，其中所述探針頭是電容耦合靜電(CCE)探針。
3.根據權利要求2所述的系統，其中所述探針頭的面向等離子的表面由與所述處理室的其他面向等離子的部件相同的材料制成。
4.根據權利要求1所述的系統，其中該組特性參數測量值是一組離子通量測量值。
5.根據權利要求1所述的系統，其中該組特性參數測量值是一組電子溫度測量值。
6.根據權利要求1所述的系統，其中該組特性參數測量值是一組空載電勢測量值。
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