[發(fā)明專利]一種光纖預(yù)制棒生產(chǎn)中蝕刻技術(shù)的精確控制裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410421966.2
• 申請(qǐng)日: 2014-08-25
• 公開（公告）號(hào): CN104261689A
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 任振華;高安敏;江平;肖華;張獻(xiàn)平;時(shí)巖;潘奮起
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇亨通光電股份有限公司
• 主分類號(hào): C03C15/00
• 分類號(hào): C03C15/00
• 代理公司: 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種光纖預(yù)制棒生產(chǎn)中蝕刻技術(shù)的精確控制裝置，其包括蝕刻槽，所述蝕刻槽內(nèi)放置有待蝕刻石英棒，其特征在于：其還包括酸液儲(chǔ)罐，所述酸液儲(chǔ)罐的出液口連通所述蝕刻槽的酸液進(jìn)口，所述蝕刻槽的高出設(shè)定液面高度的酸液回流進(jìn)入酸液儲(chǔ)罐，所述酸液儲(chǔ)罐上布置有排液口、酸液進(jìn)口，所述排液口外接有排液計(jì)量泵，加酸設(shè)備內(nèi)分別盛裝有獨(dú)立布置的高濃度酸液容器，所述高濃度酸液容器分別通過獨(dú)立管路、對(duì)應(yīng)的高濃度酸液加酸計(jì)量泵后連通至對(duì)應(yīng)的酸液進(jìn)口；所述酸液儲(chǔ)罐內(nèi)布置有加熱裝置，測(cè)溫裝置的測(cè)溫部分位于所述酸液儲(chǔ)罐的液面以下，所述加熱裝置、測(cè)溫裝置分別連接至總電器柜的溫度控制模塊，在線酸分析儀的取樣部分位于酸液儲(chǔ)罐的液面以下，在線酸分析儀外接至所述總電器柜，所述總電器柜的控制部分分別連接排液計(jì)量泵、各個(gè)高濃度酸液加酸計(jì)量泵。

2.如權(quán)利要求1所述的一種光纖預(yù)制棒生產(chǎn)中蝕刻技術(shù)的精確控制裝置，其特征在于：所述蝕刻槽包括蝕刻腔體、回流腔體，所述蝕刻腔體、回流腔體通過高度固定的隔板隔開，所述回流腔體的底部設(shè)置有回流孔，所述回流孔通過外接管連通至所述酸液儲(chǔ)罐。

3.如權(quán)利要求2所述的一種光纖預(yù)制棒生產(chǎn)中蝕刻技術(shù)的精確控制裝置，其特征在于：所述蝕刻槽的酸液進(jìn)口位于所述蝕刻槽的蝕刻腔體的底部側(cè)壁。

4.如權(quán)利要求1至3所述的一種光纖預(yù)制棒生產(chǎn)中蝕刻技術(shù)的精確控制裝置，其特征在于：所述酸液儲(chǔ)罐的出液口和所述蝕刻槽的酸液進(jìn)口之間的管路上設(shè)置有水泵，所述水泵和酸液儲(chǔ)罐之間還設(shè)置有回流管路，所述回流管路的出口通入所述酸液儲(chǔ)罐內(nèi)。

5.如權(quán)利要求1所述的一種光纖預(yù)制棒生產(chǎn)中蝕刻技術(shù)的精確控制裝置，其特征在于：所述排液口外接所述排液計(jì)量泵后連通至廢酸處理系統(tǒng)，所述在線酸分析儀的樣品酸液儲(chǔ)存腔連通至所述廢酸處理系統(tǒng)。

6.如權(quán)利要求1所述的一種光纖預(yù)制棒生產(chǎn)中蝕刻技術(shù)的精確控制裝置，其特征在于：所述酸液內(nèi)含有的酸的種類數(shù)量等于所述加酸設(shè)備內(nèi)的高濃度酸液容器的數(shù)量，每個(gè)所述高濃度酸容器一一對(duì)應(yīng)連接加酸計(jì)量泵，所述酸液進(jìn)口的數(shù)量等于所述酸液內(nèi)含有的酸的種類數(shù)量。

7.如權(quán)利要求1所述的一種光纖預(yù)制棒生產(chǎn)中蝕刻技術(shù)的精確控制裝置，其特征在于：所述加酸計(jì)量泵、水泵、排液計(jì)量泵均為耐氫氟酸的泵。