日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[發明專利]靜電卡盤裝置及晶片或托盤的固定方法有效

專利信息
申請號: 201410421884.8 申請日: 2014-08-25
公開(公告)號: CN105374727B 公開(公告)日: 2018-07-06
發明(設計)人: 李玉站 申請(專利權)人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
主分類號: H01L21/683 分類號: H01L21/683;H01J37/20
代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 代理人: 李芙蓉
地址: 100176 北京*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 靜電吸附電極 靜電卡盤裝置 托盤 晶片 絕緣本體 供電電源 卡盤本體 直流電壓輸出端 電介質晶片 固定晶片 極性相反 可靠固定 直流電壓 電絕緣 電連接 高絕緣 加載 跳片 保證
【權利要求書】:

1.一種靜電卡盤裝置,包括絕緣本體、卡盤本體與供電電源,所述絕緣本體設置在所述卡盤本體上,其特征在于,還包括至少兩個第一靜電吸附電極和至少兩個第二靜電吸附電極;

所述第一靜電吸附電極與所述第二靜電吸附電極埋設在所述絕緣本體的內部;

所述供電電源的直流電壓輸出端分別與所述第一靜電吸附電極和所述第二靜電吸附電極電連接;所述第一靜電吸附電極與所述第二靜電吸附電極上加載的直流電壓的極性相反,所述第一靜電吸附電極與所述第二靜電吸附電極交替相鄰設置,所述第一靜電吸附電極與所述第二靜電吸附電極之間相互絕緣;

所述靜電卡盤裝置還包括用于控制所述供電電源運行的控制模塊;所述控制模塊包括計時器和電源控制器;

所述電源控制器通過所述供電電源的控制端口控制所述供電電源按照預設指令運行;

所述預設指令包括當所述計時器的到達預設時間時,所述電源控制器將所述供電電源的輸出電壓的極性反轉,并將所述計時器的計時清零;

所述靜電卡盤裝置能夠防止等離子啟輝造成的晶片跳片。

2.根據權利要求1所述的靜電卡盤裝置,其特征在于,所述第一靜電吸附電極和所述第二靜電吸附電極之間存在有預設距離。

3.根據權利要求1所述的靜電卡盤裝置,其特征在于,所述供電電源為直流高壓電源。

4.一種晶片或托盤的固定方法,其特征在于,包括如下步驟:

在靜電卡盤裝置的絕緣本體內埋設至少兩個第一靜電吸附電極與至少兩個第二靜電吸附電極,所述第一靜電吸附電極與所述第二靜電吸附電極上加載的直流電壓的極性相反、交替相鄰并彼此電絕緣;

將晶片或托盤放置在所述靜電卡盤裝置的絕緣本體上;

開啟供電電源,使相鄰的所述第一靜電吸附電極與所述第二靜電吸附電極之間的區域內產生強電場將所述晶片或托盤極化,產生第一極化電荷和第二極化電荷將所述晶片或托盤吸附在所述靜電卡盤裝置上;

在所述開啟供電電源上的步驟之后還包括如下步驟:

電源控制器控制所述供電電源的輸出電壓的極性;當計時器到達預設時間時,所述電源控制器控制所述供電電源的輸出電壓極性反轉,并將所述計時器的計時清零;

所述方法能夠防止等離子啟輝造成的晶片跳片。

5.根據權利要求4所述的晶片或托盤的固定方法,其特征在于,電源控制器控制所述供電電源的輸出電壓極性;當計時器到達預設時間時,所述電源控制器控制所述供電電源的輸出電壓極性反轉,并將所述計時器的計時清零,包括如下步驟:

所述計時器設置記時參數T;

所述計時器的記時參數T達到設定值T0,所述供電電源的輸出電壓極性反轉,同時,所述計時器清零并重新開始計數;重復該步驟,直至工藝流程結束,所述電源控制器關閉所述供電電源的輸出電壓。

6.根據權利要求5所述的晶片或托盤的固定方法,其特征在于,所述T0是通過以下方法設定的:

將背吹氣體的泄漏率的上限值設為a;測量當背吹氣體的泄漏率等于其上限值a時的供電電源的開啟時間t,則設定T0≤t。

下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于北京北方華創微電子裝備有限公司,未經北京北方華創微電子裝備有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201410421884.8/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。

×

專利文獻下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進行下載,點擊【登陸】 【注冊】

關于我們 尋求報道 投稿須知 廣告合作 版權聲明 網站地圖 友情鏈接 企業標識 聯系我們

鉆瓜專利網在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 91久久精品在线| 99热久久这里只精品国产www| 97久久国产精品| 日本一二三区电影| 国产高清一区二区在线观看| 91精品一区二区在线观看| 亚洲精欧美一区二区精品| 国产一区二区免费在线| 窝窝午夜理伦免费影院| 午夜av电影网| 欧美激情午夜| 国产一区免费在线观看| 狠狠躁日日躁狂躁夜夜躁| 久久久久国产精品免费免费搜索| 国产经典一区二区三区| 国产精品自产拍在线观看蜜| 国产精品高潮在线| 国产床戏无遮挡免费观看网站| 国产精品久久久久久久久久软件| 中文字幕一区二区三区乱码| 国产品久精国精产拍| 色妞www精品视频| 国产不卡一区在线| 一区二区国产精品| 国产精品69久久久| 强行挺进女警紧窄湿润| 秋霞三级伦理| 日韩一级精品视频在线观看| 国产精品1234区| 国产区精品区| 日韩中文字幕在线一区| 久久精品二| 免费毛片**| 国产一区二区三区网站| 少妇太爽了在线观看免费| 国产日韩欧美精品一区| 在线精品视频一区| 亚洲欧美日韩另类精品一区二区三区| 中文字幕在线一二三区| 午夜av免费看| 欧美日韩久久精品| 福利视频亚洲一区| 99国产精品| 亚洲欧美色图在线| 精品一区电影国产| 国产女人和拘做受视频免费| 亚洲欧洲另类精品久久综合| 国产男女乱淫视频高清免费| 97久久精品人人澡人人爽| 搡少妇在线视频中文字幕| 九色国产精品入口| 福利电影一区二区三区| 国产亚洲精品久久午夜玫瑰园| 一区二区欧美视频| 日韩一级片在线免费观看| 中文字幕精品一区二区三区在线| 99精品久久久久久久婷婷| 国产日韩欧美色图| 日韩久久精品一区二区三区| 中文字幕在线播放一区| 国产精品久久久久久久妇女| 国产一区午夜| 国产91清纯白嫩初高中在线观看 | 狠狠躁天天躁又黄又爽| 国产偷国产偷亚洲清高| 91日韩一区二区三区| 国语精品一区 | 国产一区免费播放| 精品欧美一区二区精品久久小说| 正在播放国产一区二区| 亚洲麻豆一区| 久久精品国产99| 欧洲另类类一二三四区| 一区二区三区精品国产| 国产91麻豆视频| 国产69久久久欧美一级| 国产乱码精品一区二区三区介绍| 欧洲在线一区二区| 久久久久国产精品www| 91久久综合亚洲鲁鲁五月天| 国产一区二区二| 欧美乱大交xxxxx| 狠狠色综合欧美激情| 国产一区二区视频免费在线观看| 久久久中精品2020中文| 亚洲欧美日韩在线看| 国产日韩欧美亚洲综合| 久久国产精品二区| 成年人性生活免费看| 91精品色| av毛片精品| 偷拍区另类欧美激情日韩91| 中文字幕久久精品一区| 色婷婷综合久久久久中文| 日韩不卡毛片| 久久二区视频| 美日韩一区| 91av中文字幕| 91精品第一页| 一区二区三区中文字幕| 午夜精品一区二区三区三上悠亚 | 视频一区二区国产| 久久久精品久久日韩一区综合| 国产一区2| 狠狠综合久久av一区二区老牛| 亚洲国产一区二区精华液| 黄色国产一区二区| 久久96国产精品久久99软件| 欧美中文字幕一区二区三区| 91福利视频导航| 国产的欧美一区二区三区| 日本一区二区在线观看视频| 久久久久国产精品嫩草影院| 欧美精品一区久久| 日韩电影在线一区二区三区| 一区二区免费在线观看| 99精品久久99久久久久| 精品国产91久久久| 国产91电影在线观看| 视频一区欧美| 国产一区二区三区在线电影| 国产在线视频99| 麻豆国产一区二区| 狠狠色狠狠色综合婷婷tag| 国产伦精品一区二区三区无广告| 午夜一级免费电影| 亚洲国产日韩综合久久精品| 国产精品高潮呻吟88av| 99久久国产综合| 国产99久久久久久免费看| 热久久一区二区| 91精品福利在线| 精品久久久久久亚洲综合网| 玖玖玖国产精品| 夜夜爱av| 欧美一级不卡| 麻豆9在线观看免费高清1| 电影午夜精品一区二区三区| 中文字幕一区二区三区乱码视频 | 欧美在线观看视频一区二区三区 | 国产精品久久久久久久久久不蜜月| 欧美一区二区三区久久久久久桃花 | 国产精品九九九九九| 久久精品国产亚| 亚洲国产美女精品久久久久∴| 午夜激情电影院| 91精品丝袜国产高跟在线| 性old老妇做受| 欧美精品综合视频| 久久久久久久亚洲视频| av午夜在线| 亚洲欧美中日精品高清一区二区| 国产在线不卡一区| 88888888国产一区二区| 夜夜嗨av禁果av粉嫩av懂色av| 久久九九国产精品| 国产伦高清一区二区三区| 亚洲高清毛片一区二区| 女人被爽到高潮呻吟免费看 | 久久精品国产色蜜蜜麻豆| 国产一区二区极品| 精品国产一区二区三区高潮视| 亚日韩精品| 视频国产一区二区| 91精品啪在线观看国产| 日韩欧美一区二区久久婷婷| 国产欧美日韩在线观看| 国产亚洲精品精品国产亚洲综合| 国产91清纯白嫩初高中在线观看 | 一区二区三区国产视频| 91人人爽人人爽人人精88v| 狠狠色噜噜狠狠狠狠色吗综合| 国产麻豆精品一区二区| 欧美一区二区色| 性色av色香蕉一区二区| 久久99精品国产一区二区三区| 91一区二区三区在线| 99热久久这里只精品国产www| 中文字幕欧美日韩一区 | 国产精品欧美一区乱破| 国产亚洲精品久久久久动| 欧美一区二区三区艳史| 国产欧美日韩精品一区二区三区 | 国产欧美一二三区| 国产一级片一区二区| 99国产精品久久久久| 国产视频一区二区在线播放| 国产精品一区二区免费| 国产精品美女www爽爽爽视频| 91麻豆精品国产91久久久久| 久久99精品国产麻豆婷婷| 91麻豆精品国产91久久久无限制版| 国产精品久久久久久久久久不蜜臀| 日韩有码一区二区三区| 亚洲国产欧美一区二区丝袜黑人| 四虎国产精品久久| 欧美一区二区三区久久久久久桃花| 亚洲精品久久久久999中文字幕| 国产欧美精品va在线观看| 国产精品一二三区视频网站| 偷拍区另类欧美激情日韩91| 国产欧美日韩精品一区二区图片| 欧美精品中文字幕在线观看| 亚洲天堂国产精品| 欧美日韩三区| 伊人久久婷婷色综合98网| 精品久久久久久中文字幕| 国产一区二区资源| 亚洲综合日韩精品欧美综合区| 国产精品日韩一区二区| 免费看性生活片| 国产精品视频免费一区二区| 国产一区二区激情| 国产女人和拘做受在线视频| 亚洲1区在线观看| 久久国产视屏| 少妇bbwbbwbbw高潮| 麻豆精品国产入口| 欧美在线视频三区| 久久综合激情网| 亚洲精品国产一区二| 激情久久一区二区| 国产精品1区2区| 亚洲欧美国产一区二区三区 | 亚洲国产精品区| 午夜毛片在线看| 日韩欧美高清一区二区| xxxx18hd护士hd护士| 久久乐国产精品| 欧美日韩精品在线播放| 精品三级一区二区| 一区二区三区欧美日韩| 黄色国产一区二区| 亚洲欧洲精品一区二区三区不卡| 久久一二区| 狠狠色很很在鲁视频| 大bbw大bbw巨大bbw看看| 精品国产一区二区三区四区四| 精品国产一区二区三区麻豆免费观看完整版 | 午夜激情看片| 强制中出し~大桥未久4| 九九久久国产精品| 精品少妇一区二区三区| 欧美日韩国产精品综合| 美女被羞羞网站视频软件| 欧美日韩中文字幕一区二区三区 |