[發明專利]觸摸屏的制造方法

有效

• 申請號: 201410415826.4
• 申請日: 2014-08-20
• 公開（公告）號: CN104156131B
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發明（設計）人: 王俊
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G06F3/044
• 分類號: G06F3/044
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所44265
• 代理人: 林才桂

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種觸摸屏的制造方法。

背景技術

觸摸屏(Touch Panel，TP)又稱為觸控屏、觸控面板，它作為一種人機交互的輸入裝置被廣泛應用在各種電子產品上，比如手機、PDA、多媒體、公共信息查詢系統等。用戶可以通過手指或專用筆觸摸屏幕而產生電信號的變化，對位于觸摸屏后面顯示器件中所顯示的文字、符號、菜單等進行識別與選擇操作，從而實現對設備的輸入操作。

目前，使用較為廣泛的觸摸屏為電容式觸摸屏，其工作原理是當手指觸摸時，由于人體電場，用戶和觸摸屏表面形成一個耦合電容，對于高頻電流來說，電容是直接導體，于是手指從接觸點吸走一個很小的電流，通過檢測電路來檢測這個很小的電流變化來確定手指的位置。

現有技術制造電容式觸摸屏一般是通過在強化玻璃上形成導電薄膜，再使用掩膜板(Mask)，即俗稱的光罩，對導電薄膜進行曝光、刻蝕等工藝來實現。但是使用掩膜板的成本相對較高，且對于強化玻璃，需要把小片組裝在載體中，通過聚焦或抓取載體整面上的對準標識等來使得掩膜板與載體對準，進行曝光，由于玻璃基板與載體相比尺寸較小，曝光誤差較大，使得量產較為困難。而且，光罩制程中需進行光阻涂布、軟烤、硬烤、曝光、顯影、刻蝕及移除光阻等步驟，需花費較多制程時間，造成生產效率較低、生產成本較高。

在薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Dsiplay，TFT-LCD)等平板顯示裝置中，可將電容式觸摸屏的觸摸系統設計成內嵌式結構，從而能夠與顯示面板集成在一起，可以在一定程度上減少整個液晶顯示器的厚度，并簡化生產工藝。對于薄膜晶體管液晶顯示器來說，其顯示面板通常包括TFT陣列基板、與TFT陣列基板貼合的彩膜基板(Color Filter，CF)及配置于二者之間的液晶層。由于TFT陣列基板上布設有較多的電路，一般是將內嵌電容式觸摸屏設置于彩膜基板側。

在彩膜基板的制程過程中，通常需要制作黑色矩陣(Black Matrix，BM)，防止紅、綠、藍三基色子像素之間的間隙漏光。請參閱圖1，傳統的黑色矩陣100包括數個相互垂直連接的橫排101與縱列103，形成一體式陣列結構。該傳統的黑色矩陣100僅起到遮光作用。

發明內容

本發明的目的在于提供一種觸摸屏的制造方法，能夠簡化工藝流程，減少光罩數量，節省制程時間，提高生產效率，降低生產成本，同時提高對位精度，有效避免摩爾紋問題的發生。

為實現上述目的，本發明提供一種觸摸屏的制造方法，包括如下步驟：

步驟1、在彩膜基板的一側面上形成黑色矩陣；

所述黑色矩陣對應欲設置的傳感器圖案進行設置，使得該黑色矩陣在對應欲設置的傳感器圖案的位置形成間隙；

步驟2、在所述彩膜基板的另一側面上沉積導電薄膜；

步驟3、在所述導電薄膜上涂布光阻；

步驟4、利用步驟1中形成的黑色矩陣作為光罩，從所述彩膜基板設有黑色矩陣的側面對步驟3中形成的光阻進行曝光處理，而后進行顯影處理；

步驟5、利用上述步驟4中顯影后剩余的光阻對導電薄膜進行蝕刻，得到欲設置的傳感器圖案；

步驟6、在所述彩膜基板與傳感器圖案上成膜，形成保護層，完成觸摸屏傳感器的制作。

所述黑色矩陣包括橫排及縱列，所述橫排與縱列相互垂直連接。

所述間隙設置在橫排與縱列連接的位置。

所述步驟2中的導電薄膜為氧化銦錫或金屬薄膜。

所述步驟2中的導電薄膜采用磁控濺射法或化學氣相沉積法形成。

所述步驟4中采用波長200nm～450nm的紫外光對光阻進行曝光處理。

所述步驟4中曝光持續20秒～180秒。

所述步驟6中的保護層為氮化硅或二氧化硅薄膜。

本發明的有益效果：本發明提供的觸摸屏的制造方法，在彩膜基板一側面設置對應于傳感器圖案的黑色矩陣，利用黑色矩陣作為光罩對光阻進行曝光，以蝕刻導電薄膜，形成傳感器圖案，是不使用專用光罩制作觸摸屏的工藝方法，能夠簡化工藝流程，減少光罩數量，節省制程時間，提高生產效率，降低生產成本，同時將黑色矩陣作為光罩能夠實現自對位，從而提高對位精度，有效避免摩爾紋問題的發生。

為了能更進一步了解本發明的特征以及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本發明加以限制。

附圖說明