[發(fā)明專利]一種多路液體溫度調節(jié)裝置及溫度控制方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410412760.3
• 申請日: 2014-08-20
• 公開（公告）號: CN104199483A
• 公開（公告）日: 2014-12-10
• 發(fā)明（設計）人: 李小平;紀輝強;石文中;馮加云
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: G05D23/20
• 分類號: G05D23/20
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 曹葆青

1.一種多路液體溫度調節(jié)裝置，包括純水供應部分、注液部分和控制系統(tǒng)，純水供應部分放置于遠端的純水設備內，注液部分放置于光刻機內部；純水供應部分和注液部分之間通過遠傳管路連接；其特征在于：

A、所述純水供應部分包括熱交換器(46)、純水泵(44)和冷卻水流量伺服閥(60)，所述熱交換器(46)具有純水入口(46-1)、純水出口(46-2)、冷卻水入口(46-3)、冷卻水出口(46-4)，純水入口(46-1)接收經(jīng)純水設備處理后的純水，純水出口處裝有純水溫度傳感器(32)，用于測量經(jīng)熱交換器輸出純水的溫度，純水出口(46-2)分別通過管路連接純水節(jié)流閥(50)和開關閥(40)，開關閥(40)再通過管路連接純水泵(44)的入口，純水泵(44)用于給輸出純水增壓；純水節(jié)流閥(50)將部分純水回流，并調節(jié)回流純水的負壓和流量；

所述冷卻水流量伺服閥(60)用于調節(jié)進入熱交換器的冷卻水流量，冷卻水流量伺服閥(60)入口分別通過管路連接冷卻水源(21)和溢流閥(45)，溢流閥(45)再通過管路連接冷卻水源(21)和熱交換器(46)的冷卻水出口(46-4)，冷卻水流量伺服閥(60)出口通過管路連接熱交換器(46)的冷卻水入口(46-3)，冷卻水流量伺服閥(60)出口處裝有冷卻水溫度傳感器(31)，用于測量冷卻水水溫；溢流閥(45)用于冷卻水源多余流量的溢流，以保證冷卻水流量伺服閥(60)入口冷卻水的壓力值滿足冷卻水流量伺服閥的工作要求；

B、所述注液部分包括并行的3路注液通道：

第一路注液通道由第一流量伺服閥(61)、第一二位三通閥(41)和第1加熱器(65)構成，第一流量伺服閥(61)的出口通過管路連接第一二位三通閥(41)的入口，第一二位三通閥(41)的注液口連接管路，該管路通過第1加熱器(65)，第一流量伺服閥(61)用于調節(jié)注液的流量；第一二位三通閥(41)的回收口通過第一節(jié)流閥(51)連接浸沒液回收單元，第一二位三通閥(41)用于切換注液的狀態(tài)，當閥芯位于右邊時，其入口和注液口連通，給浸沒單元注液，當閥芯位于左邊時，其入口和回收口連通，通過管路使注液流入浸沒液回收單元；第一節(jié)流閥(51)用于調節(jié)注液回收時的壓力差，使得當管路由注液狀態(tài)轉為回收狀態(tài)時浸沒液的壓降大小不變或者接近；經(jīng)過第1加熱器(65)后的管路上裝有第一溫度傳感器(34)，管路出口作為第一路注液口(22)；

第二路注液通道由第二流量伺服閥(62)、第二二位三通閥(42)和第2加熱器(66)構成，第二流量伺服閥(62)的出口通過管路連接第二二位三通閥(42)的入口，第二二位三通閥(42)的注液口連接管路，該管路通過第2加熱器(66)，第二流量伺服閥(62)用于調節(jié)注液的流量；第二二位三通閥(42)的回收口通過第二節(jié)流閥(52)連接浸沒液回收單元，第二二位三通閥(42)用于切換注液的狀態(tài)，當閥芯位于右邊時，其入口和注液口連通，給浸沒單元注液，當閥芯位于左邊時，其入口和回收口連通，通過管路使注液流入浸沒液回收單元；第二節(jié)流閥(52)用于調節(jié)注液回收時的壓力差，使得當管路由注液狀態(tài)轉為回收狀態(tài)時浸沒液的壓降大小不變或者接近；經(jīng)過第2加熱器后的管路上裝有第二溫度傳感器(35)，管路出口作為第二路注液口(23)；

第三路注液通道由第三流量伺服閥(63)、第三二位三通閥(43)和第3加熱器(67)構成，第三流量伺服閥(63)的出口通過管路連接第三二位三通閥(43)的入口，第三二位三通閥(43)的注液口連接管路，該管路通過第3加熱器(67)，第三流量伺服閥(63)用于調節(jié)注液的流量；第三二位三通閥(43)的回收口通過第三節(jié)流閥(53)連接浸沒液回收單元，第三二位三通閥(43)用于切換注液的狀態(tài)，當閥芯位于右邊時，其入口和注液口連通，給浸沒單元注液，當閥芯位于左邊時，其入口和回收口連通，通過管路使注液流入浸沒液回收單元；第三節(jié)流閥(53)用于調節(jié)注液回收時的壓力差，使得當管路由注液狀態(tài)轉為回收狀態(tài)時浸沒液的壓降大小不變或者接近；經(jīng)過第3加熱器后的管路上裝有第三溫度傳感器(36)，管路出口作為第三路注液口(24)；

所述浸沒液回收單元用于回收浸沒液；

C、所述純水泵(44)出口通過管路分別連接第一流量伺服閥(61)、第二流量伺服閥(62)、第三流量伺服閥(63)的入口，純水泵(44)出口處裝有壓力傳感器(37)和供水溫度傳感器(33)；

D、所述控制系統(tǒng)分別采集純水溫度傳感器(32)、供水溫度傳感器(33)、第一溫度傳感器(34)、第二溫度傳感器(35)、第三溫度傳感器(36)的溫度值；并對第1加熱器(65)、第2加熱器(66)、第3加熱器(67)的加熱電壓進行控制，同時對冷卻水流量伺服閥(60)的驅動電流進行控制。