[發明專利]光程調整裝置和光程調整方法

有效

• 申請號: 201410412381.4
• 申請日: 2014-08-20
• 公開（公告）號: CN105445929B
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發明（設計）人: 藍科;李運鋒;宋海軍;忻斌杰;王詩華
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G02B27/00
• 分類號: G02B27/00;G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 屈蘅,李時云

1.一種光程調整裝置，用于調整自參考干涉儀的光程，所述自參考干涉儀包括第一棱鏡和第二棱鏡，所述第一棱鏡與第二棱鏡具有一接觸面，所述接觸面為偏振分光斜面，光通過所述自參考干涉儀在所述偏振分光斜面發生干涉，其特征在于，包括：光源模塊、X軸推力裝置、Y軸預緊力裝置、第一定位塊、第二定位塊以及圖像接收和處理裝置；所述光源模塊用于向所述自參考干涉儀提供準直白光，所述圖像接收和處理裝置用于接收和處理所述準直白光通過所述自參考干涉儀而形成的白光干涉條紋，并根據所述白光干涉條紋調整所述第一棱鏡和所述第二棱鏡；所述X軸推力裝置和Y軸預緊力裝置分別靠近所述第一棱鏡和第二棱鏡，分別用于對所述第一棱鏡施加X軸正方向的推力和對所述第二棱鏡施加Y軸正方向的預緊力；所述第一定位塊與所述第一棱鏡接觸，用于限制所述第一棱鏡向Y軸正方向移動；所述第二定位塊與所述第二棱鏡接觸，用于限制所述第二棱鏡向X軸正方向移動。

2.如權利要求1所述的光程調整裝置，其特征在于，所述X軸推力裝置包括電機和一維移動桿，所述電機通過所述一維移動桿對所述第一棱鏡施加X軸正方向的推力，使得所述第一棱鏡沿著X軸正方向進行納米級的移動。

3.如權利要求1所述的光程調整裝置，其特征在于，所述光源模塊包括白光光源、光纖和光纖準直器，所述白光光源通過所述光纖與所述光纖準直器連接。

4.如權利要求1所述的光程調整裝置，其特征在于，所述圖像接收和處理裝置包括彩色CCD相機和計算機處理器，所述彩色CCD相機正對所述自參考干涉儀的偏振分光斜面，用于接收從所述自參考干涉儀射出的光束并形成圖像信息，所述計算機處理器接收所述彩色CCD相機傳遞的圖像信息并對所述圖像信息進行分析和處理。

5.如權利要求2所述的光程調整裝置，其特征在于，所述一維移動桿與所述第一棱鏡之間及所述Y軸預緊力裝置與所述第二棱鏡之間均設置有保護墊。

6.一種光程調整方法，用于調整自參考干涉儀的光程，其特征在于，包括：提供如權利要求1至權利要求5任一項所述的光程調整裝置；將所述光源模塊射出的準直白光對準所述自參考干涉儀以形成白光干涉條紋；根據所述白光干涉條紋分別提取紅、綠、藍三原色干涉條紋；通過所述光程調整裝置調整所述第一棱鏡和第二棱鏡的相對位置使得所述紅、綠、藍三原色干涉條紋重合。

7.如權利要求6所述的光程調整方法，其特征在于，所述紅、綠、藍三原色干涉條紋的位置重合時所述第一棱鏡和第二棱鏡的光程相等。

8.如權利要求6所述的光程調整方法，其特征在于，在形成白光干涉條紋之后，在分別提取紅、綠、藍三原色干涉條紋之前，還包括：通過圖像接收和處理裝置對所述白光干涉條紋進行圖像采集和圖像分析。