[發明專利]立體形狀的陶瓷加熱器

有效

• 申請號: 201410410809.1
• 申請日: 2014-08-20
• 公開（公告）號: CN104427666A
• 公開（公告）日: 2015-03-18
• 發明（設計）人: 串橋卓馬;木村昇;田村和義
• 申請（專利權）人: 信越化學工業株式會社
• 主分類號: H05B3/14
• 分類號: H05B3/14
• 代理公司: 北京泛華偉業知識產權代理有限公司 11280
• 代理人: 王勇;王博

1.一種立體形狀的陶瓷加熱器，包括：由立體形狀的電絕緣性陶瓷構成的支撐基材、由設置于該基材上的導電性陶瓷構成且形成有包含折回部的加熱器圖案的薄膜狀發熱體、由設置在該發熱體上的電絕緣性陶瓷構成的絕緣層以及用于將所述發熱體連接到電源的電力供給端子，其特征在于：所述加熱器圖案的折回部被沿著電流流動的方向分割成多個電流通路，并且，該電流通路的一個分割區間被分割為N列(N為2以上的整數)電流通路時，第n列(n為1～N)電流通路的電力密度Xn滿足下式1。

【式1】

0.7≤XnΣn=1NXnN≤1.3]]>

2.如權利要求1所述的立體形狀的陶瓷加熱器，其特征在于，所述加熱器圖案在相鄰的折回部之間被沿著電流流動的方向連續地分割成多個電流通路。

3.如權利要求1或2所述的立體形狀的陶瓷加熱器，其特征在于，所述加熱器圖案從與一個電力供給端子相鄰的折回部到與其他的另一個電力供給端子相鄰的折回部，被沿著電流流動的方向連續地分割成多個電流通路。

4.如權利要求2或3所述的立體形狀的陶瓷加熱器，其特征在于，所述加熱器圖案在被分割的所述電流通路的范圍內包含偶數個折回部。

5.如權利要求1至4中任一項所述的立體形狀的陶瓷加熱器，其特征在于，所述加熱器圖案在電力供給端子和與該電力供給端子相鄰的折回部之間，被沿著電流流動的方向分割成多個電流通路。

6.如權利要求1至5中任一項所述的立體形狀的陶瓷加熱器，其特征在于，所述立體形狀可以是圓筒形狀、有底容器形狀、舟狀或槽狀中任意一種。

7.如權利要求6所述的立體形狀的陶瓷加熱器，其特征在于，當所述支撐基材的形狀為圓筒形狀時，該圓筒形狀的圓筒外表面各部位的直徑的偏差在±0.025mm的范圍之內。

8.如權利要求1至7中任一項所述的立體形狀的陶瓷加熱器，其特征在于，所述支撐基材由熱解氮化硼構成，所述發熱體由熱解石墨、含有硼和/或碳化硼的熱解石墨中的任意一種構成，所述絕緣層由熱解氮化硼或含碳熱解氮化硼中的任意一種構成。

9.如權利要求1至8中任一項所述的立體形狀的陶瓷加熱器，其特征在于，該立體形狀的陶瓷加熱器被用來將為了使Ag、Al、Au、Cr、Cu、Ga、Ge、In、Si中的任意一種蒸鍍材料熔融或升華而收容有所述蒸鍍材料的真空蒸鍍裝置的坩堝加熱至1000℃以上的溫度。