[發明專利]輸送裝置及具有該輸送裝置的曝光裝置有效
| 申請號: | 201410407693.6 | 申請日: | 2014-08-19 |
| 公開(公告)號: | CN104418122B | 公開(公告)日: | 2017-06-06 |
| 發明(設計)人: | 松田政昭;森田亮 | 申請(專利權)人: | 株式會社ORC制作所 |
| 主分類號: | B65H5/06 | 分類號: | B65H5/06;G03F7/20 |
| 代理公司: | 北京三友知識產權代理有限公司11127 | 代理人: | 李輝,馬建軍 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 輸送 裝置 具有 曝光 | ||
1.一種輸送裝置,其將架設于供給卷軸與卷取卷軸之間的長條狀工件在其長度方向上進行輸送,其特征在于,
所述輸送裝置設置有浮動輥和浮動輥清掃單元,該浮動輥位于所述供給卷軸與所述卷取卷軸之間,隨著所述長條狀工件的輸送進行升降,并對所述長條狀工件施加張力,該浮動輥清掃單元位于所述浮動輥的上方,對所述浮動輥的外周面進行清掃,
所述浮動輥在其外周面形成有異物去除單元,該異物去除單元由形成于所述浮動輥的外周面的粘接層構成,
所述浮動輥在隨著所述長條狀工件的輸送進行升降的同時,使所述異物去除單元與所述長條狀工件的一個面接觸并旋轉,由此,對所述長條狀工件的一個面進行清掃,
所述浮動輥清掃單元由具有比所述浮動輥的所述粘接層強的粘接力的浮動輥用粘接片輥構成,
所述浮動輥用粘接片輥不能升降地設置在所述浮動輥的上方,
所述浮動輥和所述浮動輥用粘接片輥彼此的外周面僅在所述浮動輥的上升端處接觸。
2.一種輸送裝置,其將架設于供給卷軸與卷取卷軸之間的長條狀工件在其長度方向上進行輸送,其特征在于,
所述輸送裝置設置有浮動輥,該浮動輥位于所述供給卷軸與所述卷取卷軸之間,隨著所述長條狀工件的輸送進行升降,并對所述長條狀工件施加張力,
所述輸送裝置設置有從動輥和從動輥清掃單元,該從動輥位于所述浮動輥的下方,在與所述浮動輥之間夾持所述長條狀工件且隨著所述長條狀工件的輸送而從動于所述浮動輥進行升降,該從動輥清掃單元位于所述從動輥的下方,對所述從動輥的外周面進行清掃,
所述從動輥在其外周面形成有異物去除單元,該異物去除單元由形成于所述從動輥的外周面的粘接層構成,
所述從動輥在隨著所述長條狀工件的輸送進行升降的同時,使所述異物去除單元與所述長條狀工件的另一個面接觸并旋轉,由此,對所述長條狀工件的另一個面進行清掃,
所述從動輥清掃單元由具有比所述從動輥的所述粘接層強的粘接力的從動輥用粘接片輥構成,
所述從動輥用粘接片輥不能升降地設置在所述從動輥的下方,
所述從動輥和所述從動輥用粘接片輥彼此的外周面僅在所述從動輥的下降端處接觸。
3.一種曝光裝置,其特征在于,所述曝光裝置具有:
權利要求1或2所述的輸送裝置;以及
曝光部,其位于所述供給卷軸與所述卷取卷軸之間,對所述長條狀工件的一個面或另一個面曝光出圖案。
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