[發明專利]一種非制冷型毫米波/紅外疊層探測器

有效

• 申請號: 201410407533.1
• 申請日: 2014-08-15
• 公開（公告）號: CN104330169B
• 公開（公告）日: 2017-05-03
• 發明（設計）人: 郭云芝;安寧;穆學楨;孫維國;李墨;趙書敏;陳洪許
• 申請（專利權）人: 中國空空導彈研究院
• 主分類號: G01J5/10
• 分類號: G01J5/10;H01Q1/22;H01Q1/36;H01Q1/38;H01Q1/50
• 代理公司: 鄭州睿信知識產權代理有限公司41119
• 代理人: 胡泳棋

1.一種非制冷型毫米波/紅外疊層探測器，包括微帶天線、非制冷型探測器元件和讀出電路，其特征在于，微帶天線通過粘合劑粘貼在非制冷型探測器元件背面，非制冷型探測器元件的正面通過連接柱與讀出電路連接；所述微帶天線的絕緣介質基片的一面為石墨烯導電薄膜，石墨烯導電薄膜上刻蝕出的縫隙成陣列分布，在絕緣介質基片另一面，與石墨烯導電薄膜上每個縫隙對應位置都印制有金屬饋線，所述的石墨烯導電薄膜透紅外輻射，所述微帶天線接收毫米波。

2.根據權利要求1所述的非制冷型毫米波/紅外疊層探測器，其特征在于，所述石墨烯導電薄膜為2-8層石墨烯薄膜。

3.根據權利要求1所述的非制冷型毫米波/紅外疊層探測器，其特征在于，所述的非制冷型探測器元件為InAsGa焦平面探測器，工作在室溫環境下。

4.根據權利要求3所述的非制冷型毫米波/紅外疊層探測器，其特征在于，所述的InAsGa焦平面探測器含有陣列分布的光敏元，金屬饋線分布在光敏元之間的縫隙所對應的絕緣介質基片上。

5.根據權利要求4所述的非制冷型毫米波/紅外疊層探測器，其特征在于，所述的光敏元之間的間隙為10-20微米。

6.根據權利要求1所述的非制冷型毫米波/紅外疊層探測器，其特征在于，所述連接柱為銦柱。

7.根據權利要求1所述非制冷型毫米波/紅外疊層探測器，其特征在于，所述絕緣介質基片材料選取二氧化硅、藍寶石、氟化鎂或者尖晶石。