[發(fā)明專利]兩種氣體獨(dú)立均勻噴氣噴淋裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410406792.2
• 申請(qǐng)日: 2014-08-15
• 公開（公告）號(hào): CN104195525A
• 公開（公告）日: 2014-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳鳳麗;蘇欣
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽拓荊科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/455
• 分類號(hào): C23C16/455
• 代理公司: 沈陽維特專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 21229
• 代理人: 甄玉荃;霍光旭

1.兩種氣體獨(dú)立均勻噴氣噴淋裝置，其特征在于：該裝置包括雙通道進(jìn)氣板、擴(kuò)散擋板、勻氣環(huán)、噴淋孔板四個(gè)部分，將擴(kuò)散擋板焊接在雙通道進(jìn)氣板的中心處，上述擴(kuò)散板與雙通道進(jìn)氣板構(gòu)成第一個(gè)部分，將勻氣環(huán)與噴淋孔板焊接在一起，使勻氣環(huán)內(nèi)側(cè)壁的溝槽與噴淋孔板的夾層相通，上述勻氣環(huán)與噴淋孔板構(gòu)成第二個(gè)部分，將焊接后的兩個(gè)部分釬焊在一起，形成空腔，使勻氣環(huán)設(shè)有均布的若干半通孔與雙通道進(jìn)氣板設(shè)有的矩形槽相通，所述噴淋裝置內(nèi)部設(shè)有相互隔離的兩個(gè)氣體通道，雙通道進(jìn)氣板上設(shè)置進(jìn)氣口A、進(jìn)氣口B，進(jìn)氣口A與兩個(gè)部分形成的空腔相通，進(jìn)氣口B與雙通道進(jìn)氣板的矩形槽相通。

2.如權(quán)利要求1所述的兩種氣體獨(dú)立均勻噴氣噴淋裝置，其特征在于：所述的雙通道進(jìn)氣板為圓形板狀，圓形板狀的雙通道進(jìn)氣板的下端面邊緣上設(shè)置環(huán)形凸臺(tái)，在環(huán)形凸臺(tái)的端面上開有矩形槽，在矩形槽的槽底鉆一個(gè)通孔B，在雙通道進(jìn)氣板的中心開設(shè)一個(gè)通孔A。

3.如權(quán)利要求1所述的兩種氣體獨(dú)立均勻噴氣噴淋裝置，其特征在于：所述的兩個(gè)氣體入口設(shè)置在雙通道進(jìn)氣板的上端面上，在雙通道進(jìn)氣板內(nèi)部設(shè)有的兩個(gè)獨(dú)立的氣體通道，所述兩個(gè)獨(dú)立的氣體通道分別設(shè)置在雙通道進(jìn)氣板的中心處與邊緣處，邊緣處的氣體與環(huán)形凸臺(tái)端面上開有的矩形槽相通，將板狀噴淋孔板用去除材料的方式，使其內(nèi)部形成夾層，并在夾層中規(guī)律地分布導(dǎo)氣柱，在每個(gè)導(dǎo)氣柱上鉆一個(gè)通孔，在導(dǎo)氣柱之間規(guī)律地鉆半通孔，形成上述結(jié)構(gòu)后再將板狀的噴淋孔板加工成圓形，將內(nèi)徑與噴淋孔板外徑一致的勻氣環(huán)的內(nèi)側(cè)壁開槽，在勻氣環(huán)的端面上設(shè)置均布的若干半通孔，使所述的若干半通孔與槽相通，將勻氣環(huán)套在噴淋孔板外圍，使勻氣環(huán)內(nèi)側(cè)壁開有的槽與噴淋孔版的夾層相通，擴(kuò)散擋板設(shè)置在雙通道進(jìn)氣板中心處，將勻氣環(huán)上帶有半通孔的端面與雙通道進(jìn)氣板帶有矩形槽的一端連接固定，使雙通道進(jìn)氣板的下端面上設(shè)有的矩形槽與勻氣環(huán)端面上設(shè)有的半通孔相通，這樣，第一種氣體由噴淋裝置的雙通道進(jìn)氣板中心處的氣體入口進(jìn)入，經(jīng)過擴(kuò)散擋板的作用充分?jǐn)U散到整個(gè)噴淋裝置的內(nèi)腔中，經(jīng)噴淋孔板的設(shè)置在各導(dǎo)氣柱中的各通孔流出噴淋裝置，第二種氣體由噴淋裝置的雙通道進(jìn)氣板邊緣處的第二氣體入口進(jìn)入，在雙通道進(jìn)氣板下端面上設(shè)置的矩形槽內(nèi)流動(dòng)，在流動(dòng)過程中通過勻氣環(huán)端面上均布的半通孔進(jìn)入到設(shè)置在勻氣環(huán)內(nèi)側(cè)壁上的溝槽中，在勻氣環(huán)內(nèi)側(cè)壁上的溝槽中充分?jǐn)U散并由噴淋孔板的邊緣向中心方向彌漫到噴淋孔板的夾層中，并從導(dǎo)氣柱之間設(shè)置的半通孔流出噴淋裝置，兩種氣體同時(shí)進(jìn)入反應(yīng)腔中。

4.如權(quán)利要求1所述的兩種氣體獨(dú)立均勻噴氣噴淋裝置，其特征在于：所述的噴淋孔板為圓形板狀，其加工方法是將板狀材料采用電加工去除材料的方式，平行于板面方向，開設(shè)一列間距相等的矩形孔A，平行于板面方向并垂直于矩形孔A的軸線方向，開設(shè)一列間距相等的矩形孔B，矩形孔A、矩形孔B大小相等，若干矩形孔A的間距與若干矩形孔B的間距相等。使板狀材料分為上、下兩層，并且，上、下兩層板之間產(chǎn)生矩形陣列的若干正方形氣柱，將板狀材料采用去除材料的方式加工成圓形，在每個(gè)正方形氣柱中鉆一個(gè)階梯孔，在若干正方形導(dǎo)氣柱之間，鉆均勻線性陣列的若干半通孔，半通孔6設(shè)在階梯孔孔徑小的一端。

5.如權(quán)利要求1所述的兩種氣體獨(dú)立均勻噴氣噴淋裝置，其特征在于：所述的勻氣環(huán)7為圓形環(huán)狀，在勻氣環(huán)7的內(nèi)側(cè)壁上，開有異型槽9，異型槽9的槽口小于槽底，為實(shí)現(xiàn)異型槽9的加工，在勻氣環(huán)7的內(nèi)側(cè)壁上開有為加工異型槽9的進(jìn)、退刀槽10，在勻氣環(huán)7的端面上，圓周陣列并均布著若干孔8，若干孔8鉆至異型槽9中，勻氣環(huán)7的內(nèi)徑與噴淋孔板1的外徑相等。

6.如權(quán)利要求1所述的兩種氣體獨(dú)立均勻噴氣噴淋裝置，其特征在于：所述的擴(kuò)散擋板為圓形板狀，圓板邊緣有環(huán)形凸臺(tái)，圓板面上線性陣列著若干通孔。