[發明專利]一種高致密鉻鎢合金靶材的制備方法

有效

• 申請號: 201410404503.5
• 申請日: 2014-08-15
• 公開（公告）號: CN105345007B
• 公開（公告）日: 2017-11-07
• 發明（設計）人: 張鳳戈;姚偉;姜海;張路長;唐培新;何向暉;郝權;趙雷;孫繼洲
• 申請（專利權）人: 安泰科技股份有限公司
• 主分類號: B22F3/15
• 分類號: B22F3/15;C22C27/06
• 代理公司: 北京五洲洋和知識產權代理事務所(普通合伙)11387
• 代理人: 劉春成,溫泉

1.一種鉻鎢合金靶材的制備方法，其特征在于，所述鉻鎢合金靶材的制備方法，包括以下步驟：

步驟一、將鎢粉進行還原處理，得到還原后的鎢粉；

步驟二、將所述還原后的鎢粉和鉻粉制備得到預合金粉末；所述預合金粉末是所述還原后的鎢粉與鉻粉進行磨粉處理得到的；所述磨粉處理采用高能球磨制粉處理；

步驟三、將所述預合金粉末原料進行裝包套處理，得到裝滿的包套；

步驟四、將所述裝滿的包套進行脫氣處理，得到脫氣后的包套；

步驟五、對所述脫氣后的包套進行熱等靜壓處理，得到壓制后的錠坯，再去除包套得到壓制后的坯料；所述熱等靜壓處理的保溫溫度為1250～1445℃，保溫時間為2～5h，壓力為120～150MPa；

步驟六、將所述壓制后的坯料進行機加工處理，得到所述鉻鎢合金靶材；所述鉻鎢合金靶材包括以下原子百分比的成分：鉻80～99％，鎢1～20％。

2.根據權利要求1所述鉻鎢合金靶材的制備方法，其特征在于，所述鉻鎢合金靶材包括以下原子百分比的成分：鉻90％，鎢10％。

3.根據權利要求1所述鉻鎢合金靶材的制備方法，其特征在于，所述合金靶材的相對密度不低于99％，平均晶粒尺寸不大于50μm。

4.根據權利要求1所述鉻鎢合金靶材的制備方法，其特征在于，所述高能球磨制粉處理，是指于惰性氣體保護條件下在高能球磨機中混合4～24h。

5.根據權利要求1所述鉻鎢合金靶材的制備方法，其特征在于，所述預合金粉末的平均粒徑不大于50μm。

6.根據權利要求1所述鉻鎢合金靶材的制備方法，其特征在于，在所述步驟一中，所述還原處理是在850～950℃下通入氫氣。

7.根據權利要求1所述鉻鎢合金靶材的制備方法，其特征在于，在所述步驟四中，所述脫氣處理的溫度為300～500℃，時間為5～30h。

8.根據權利要求7所述鉻鎢合金靶材的制備方法，其特征在于，所述脫氣處理時的真空度為10^-1Pa～10^-4Pa。