[發明專利]一種智能節能窗用二氧化釩基膜系及其制備方法

在審

• 申請號: 201410403361.0
• 申請日: 2014-08-15
• 公開（公告）號: CN104250068A
• 公開（公告）日: 2014-12-31
• 發明（設計）人: 王少偉;劉星星;陸衛;俞立明;陳效雙
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海技術物理研究所
• 主分類號: C03C17/34
• 分類號: C03C17/34
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 郭英

1.一種智能節能窗用二氧化釩基膜系，其結構為在襯底(3)上依次有功能層(2)和減反保護層(1)，其特征在于：

所述的功能層(2)是摻雜比為0.5～4.0％摻雜二氧化釩薄膜，摻雜元素是W、Mo、AI、Ti、Nb或Ta，薄膜厚度為20～100nm；

所述的減反保護層(1)是一層或多層的二氧化硅、氮化硅、二氧化鈦、氧化鋁、氮化鋁或五氧化二鉭光介質材料層。

2.一種制備如權利要求1所述的智能節能窗用二氧化釩基膜系的方法，其特征在于包括以下步驟：

1)通過濺射的方法制備摻雜的金屬釩膜，為了使得后續處理過程后膜系具有一定可見光透過率和紅外調節特性，金屬釩鎢膜厚度控制在20～80nm；

2)采用真空通氧退火的方法把摻雜金屬釩膜退火氧化成摻雜二氧化釩薄膜，薄膜厚度為20～100nm；

3)測試摻雜二氧化釩薄膜的透射譜和反射譜，通過軟件提取摻雜二氧化釩薄膜的光學常數；

4)應用摻雜二氧化釩膜和光學介質的光學常數，設計智能窗用二氧化釩膜系，在軟件中模擬各層厚度對膜系整體性能的影響；

5)通過濺射的方法制備摻雜的金屬釩膜，膜層厚度依據模擬中性能優異的區段進行選擇；

6)采用真空通氧退火的方法把金屬釩鎢膜退火氧化成摻雜二氧化釩薄膜；

7)通過濺射的方法在膜層表面沉積一層減反層，減反層厚度依據模擬中性能優異的區段進行選擇。