[發(fā)明專利]一種高溫加速度傳感器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410403085.8 | 申請日： | 2014-08-15 |
| 公開（公告）號： | CN105334348A | 公開（公告）日： | 2016-02-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 林全明;鄭燕青;涂小牛;孔海寬;熊開南;李亞喬;施爾畏 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學院上海硅酸鹽研究所;上海硅酸鹽研究所中試基地 |
| 主分類號： | G01P15/09 | 分類號： | G01P15/09 |
| 代理公司： | 上海瀚橋?qū)＠硎聞?wù)所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;鄭優(yōu)麗 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 高溫 加速度 傳感器 | ||
1.一種高溫加速度傳感器，其特征在于，所述高溫加速度傳感器以結(jié)構(gòu)有序型壓電晶體Sr3NbGa3Si2O14、Sr3TaGa3Si2O14、Ca3NbGa3Si2O14和/或Ca3TaGa3Si2O14作為敏感元件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫加速度傳感器，其特征在于，所述構(gòu)成敏感元件的材料屬于三方晶系，空間群P321，點群32。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高溫加速傳感器，其特征在于，所述敏感元件的形狀為方形、圓形或圓環(huán)形。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一所述的高溫加速度傳感器，其特征在于，所述敏感元件單獨使用或多個敏感元件并聯(lián)使用。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一所述的高溫加速度傳感器，其特征在于，所述高溫加速度傳感器使用敏感元件的正壓縮模式或剪切模式。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一所述的高溫加速度傳感器，其特征在于，所述高溫加速度傳感器工作溫度為-55-649℃，工作頻率為10-2500HZ，能夠在1-10g加速度下工作。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一所述的高溫加速度傳感器，其特征在于，所述高溫加速度傳感器的誤差≦10%。
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