[發明專利]高效半熔多晶鑄錠的制作工藝

無效

• 申請號: 201410400824.8
• 申請日: 2014-08-14
• 公開（公告）號: CN104120492A
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 杜正興;李靖;張安國
• 申請（專利權）人: 無錫尚品太陽能電力科技有限公司
• 主分類號: C30B28/08
• 分類號: C30B28/08;C30B29/06
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 殷紅梅;劉海

1.一種高效半熔多晶鑄錠的制作工藝，其特征是，包括以下步驟：

（1）原料：原生多晶硅60～70%、多晶輔料30～40%；

（2）將原料裝入到坩堝內，將坩堝送入鑄錠爐中，放置于DS塊上；?坩堝位于DS塊上，坩堝上罩設加熱器，加熱器外部為上隔熱籠，DS塊下部為下保溫層；

（3）加熱過程包括以下5個步驟：

第1步：加熱時間為10～15min，加熱溫度為150～200℃，真空度為0.02～0.006mbar；

第2步：加熱時間為30～40min，加熱溫度為400～450℃，真空度為0.02～0.006mbar；

第3步：加熱時間為90～100min，加熱溫度為700～800℃，真空度為0.02～0.006mbar；

第4步：加熱時間為120～130min，加熱溫度為1100～1175℃，真空度為0.02～0.006mbar；

第5步：加熱時間為150～155min，加熱溫度為1170～1175℃，真空度為0.02～0.006mbar；

（4）熔化過程包括以下13個步驟：

第1步：加熱時間為30～35min，加熱溫度為1175～1180℃，鑄錠爐腔內壓力設定值為0.02～0.006?mbar；

第2步：加熱時間為12～15min，加熱溫度為1193～1195℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為190～195?mbar；

第3步：加熱時間為12～15min，加熱溫度為1210～1215℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力350?～355mbar；

第4步：加熱時間為180～185min，加熱溫度為1455～1460℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為500～505?mbar；

第5步：加熱時間為90～95min，加熱溫度為1500～1505℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為550～555?mbar；

第6步：加熱時間為240～245min，加熱溫度為1540～1545℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為550?～555mbar；

第7步：加熱時間為720～725min，加熱溫度為1538～1540℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為550～555?mbar，上隔籠開啟高度為0.6～0.8cm；

第8步：加熱時間為30～35min，加熱溫度為1532～1535℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為550～555?mbar，上隔籠開啟高度保持0.6～0.8cm；；

第9步：加熱時間為30～35min，加熱溫度為1480～1485℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為550～555?mbar，上隔籠開啟高度保持0.6～0.8cm；

第10步：加熱時間為90～95min，加熱溫度為1445～1448℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為550～555?mbar，上隔籠開啟高度保持0.6～0.8cm；

第11步：加熱時間為15～18min，加熱溫度為1445～1448℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為550～555?mbar，上隔籠開啟高度為6～8cm；

（5）長晶過程包括以下9個步驟：

第1步：加熱時間為180～185min，加熱溫度為1445～1448℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為550～555mbar；

第2步：加熱時間為180～182min，加熱溫度為1443～1444℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為550～555?mbar；

第3步：加熱時間為60～65min，加熱溫度為1442～1443℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為550～555mbar；

第4步：加熱時間為300～305min，加熱溫度為1435～1438℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為550～555?mbar；

第5步：加熱時間為480～485min，加熱溫度為1424～1425℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為550～555?mbar；

第6步：加熱時間為240～245min，加熱溫度為1421～1423℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為550～555mbar；

第7步：加熱時間480～485min，加熱溫度為1419～1421℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為550～555mbar；

第8步：加熱時間為210～215min，加熱溫度為1418～1420℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為550～555?mbar；

（6）退火過程：加熱時間為225～230min，加熱溫度為1370℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為600～605?mbar；

（7）冷卻包括以下5個步驟：

第1步：冷卻時間為180～185min，溫度為1100～1370℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為600～610mbar；

第2步：冷卻時間為180～185min，溫度為800～1100℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為600～610mbar；

第3步：冷卻時間為90～95min，溫度為600～800℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為700～710mbar；

第4步：冷卻時間為360～365min，溫度為410～600℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為700～710?mbar；

第5步：冷卻時間為20～25min，溫度為390～410℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力為850～860mbar；

上冷卻完成后，鑄錠爐腔內溫度低于400℃時，向爐內充氬氣達到980mbar時即可打開鑄錠爐，得到多晶鑄錠。