[發明專利]一種涂層導體用氧化鎂緩沖層的超聲噴霧熱解制備方法

在審

• 申請號: 201410399643.8
• 申請日: 2014-08-14
• 公開（公告）號: CN104120411A
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 劉勝利;張穎
• 申請（專利權）人: 南京大學（蘇州）高新技術研究院
• 主分類號: C23C18/12
• 分類號: C23C18/12;C23C18/04;H01B12/06;H01B13/00
• 代理公司: 南京知識律師事務所 32207
• 代理人: 汪旭東

1.一種涂層導體用氧化鎂緩沖層的超聲噴霧熱解制備方法，其步驟如下：

步驟一：對具有高度立方織構金屬NiW合金基片進行清潔處理；

步驟二：在稀釋后濃度為30％-50％的硝酸溶液中懸空浸漬40-120秒，去除表面氧化，取出洗凈晾干；

步驟三：將清潔處理后的立方織構金屬NiW合金基片固定于加熱臺上，并加熱至580-630攝氏度；

步驟四：以硝酸鎂溶液為前驅液，利用超聲霧化器將前驅液霧化噴涂在NiW合金基片，霧化噴涂采用噴涂20-60秒，停止40-120秒再重復噴涂的方式，總共持續10-30分鐘；

步驟五：霧化噴涂結束后保溫30-60分鐘。

2.根據權利要求1所述的一種涂層導體用氧化鎂緩沖層的超聲噴霧熱解制備方法，其步驟一中對涂層導體NiW合金基片進行清潔處理，依順序采用99.99％的丙酮、酒精以及去離子水進行超聲處理。

3.根據權利要求1所述的一種涂層導體用氧化鎂緩沖層的超聲噴霧熱解制備方法，其步驟四中，硝酸鎂溶液的濃度為0.3-1mol/L。

4.根據權利要求1所述的一種涂層導體用氧化鎂緩沖層的超聲噴霧熱解制備方法，其步驟四中，噴涂時噴嘴至襯底的距離為4-8cm。