[發明專利]高效多晶硅鑄錠的制作工藝

無效

• 申請號: 201410399176.9
• 申請日: 2014-08-14
• 公開（公告）號: CN104131341A
• 公開（公告）日: 2014-11-05
• 發明（設計）人: 杜正興;李靖;張安國
• 申請（專利權）人: 無錫尚品太陽能電力科技有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 殷紅梅;劉海

1.一種高效多晶硅鑄錠的制作工藝，其特征是，包括以下步驟：

（1）原料：原生多晶硅60～70%、多晶輔料30～40%；

（2）將原料進行清洗；

（3）在坩堝底面上噴上一層厚度為0.5mm的石英砂，石英砂的顆粒大小為70目；將原料裝入坩堝內，送入鑄錠爐的DS塊上，對鑄錠爐進行抽真空，當爐腔的真空度為0.006mbar時開始檢漏，5分鐘內壓力回升小于0.015?mbar時即為合格；

（4）加熱過程包括以下4個步驟：

第1步：加熱時間為10～15min，加熱溫度為150～200℃，真空度為0.02～0.006mbar；

第2步：加熱時間為30～40min，加熱溫度為400～450℃，真空度為0.02～0.006mbar；

第3步：加熱時間為90～100min，加熱溫度為700～800℃，真空度為0.02～0.006mbar；

第4步：加熱時間為120～130min，加熱溫度為1100～1175℃，真空度為0.02～0.006mbar；

（5）熔化過程包括以下8個步驟：

第1步：加熱時間為30～35min，加熱溫度為1175～1180℃，鑄錠爐腔內壓力設定值為0；

第2步：加熱時間為12～15min，加熱溫度為1193～1195℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為190～195mbar；

第3步：加熱時間為12～15min，加熱溫度為1210～1215℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為350～355?mbar；

第4步：加熱時間為180～185min，加熱溫度為1455～1460℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為500～505?mbar；

第5步：加熱時間為90～95min，加熱溫度為1500～1505℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為550?～555mbar；

第6步：加熱時間為990～995min，加熱溫度為1540～1545℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為550?～555mbar；

第7步：加熱時間為30～35min，加熱溫度為1480～1485℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為550～555?mbar；

第8步：加熱時間為105～110min，加熱溫度為1445～1450℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為550～555?mbar；

（6）長晶過程包括以下8個步驟：

第1步：加熱時間為180～185min，加熱溫度為1445～1450℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為550～555mbar；

第2步：加熱時間為180～185min，加熱溫度為1443～1444℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為550～555?mbar；

第3步：加熱時間為60min，加熱溫度為1441℃～1442℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為550～555?mbar；

第4步：加熱時間為300～305min，加熱溫度為1435～1438℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為550?～555mbar；

第5步：加熱時間為480～485min，加熱溫度為1424～1426℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為550～555?mbar；

第6步：加熱時間240～245min，加熱溫度為1421～1422℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為550～555?mbar；

第7步：加熱時間為480～485min，加熱溫度為1419～1420℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為550～555?mbar；

第8步：加熱時間為210～215min，加熱溫度為1418～1420℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為550?～555mbar；

（7）退火：加熱時間為225～230min，加熱溫度為1370℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為600～605mbar；

（8）冷卻包括以下5個步驟：

第1步：冷卻時間為180～185min，溫度為1100～1370℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為600～610mbar；

第2步：冷卻時間為180～185min，溫度為800～1100℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為600～610mbar；

第3步：冷卻時間為90～95min，溫度為600～800℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為700～710?mbar；

第4步：冷卻時間為360～365min，溫度為410～600℃，通氬氣，鑄錠爐腔內壓力設定值為700～710mbar；

第5步：加熱時間為20～25min，加熱溫度為390～410℃，通氬氣，壓力為850～860mbar；

（9）完成上述冷卻后，鑄錠爐腔內溫度低于400℃時，向鑄錠爐腔內充氬氣達到980mbar時即可打開鑄錠爐，得到多晶硅鑄錠。