[發明專利]一種Co-Cr-Pt-SiO2靶材的制備方法有效
| 申請號： | 201410394572.2 | 申請日： | 2014-08-12 |
| 公開（公告）號： | CN104174851A | 公開（公告）日： | 2014-12-03 |
| 發明（設計）人： | 聞明;張俊敏;譚志龍;畢珺;王傳軍;李艷瓊;管偉明 | 申請（專利權）人： | 貴研鉑業股份有限公司 |
| 主分類號： | B22F3/16 | 分類號： | B22F3/16;B22F1/00;C22C19/07;C22C30/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 昆明今威專利商標代理有限公司 53115 | 代理人： | 賽曉剛 |
| 地址： | 650106 云南省昆明市高新*** | 國省代碼： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 co cr pt sio sub 制備 方法 | ||
1.一種Co-Cr-Pt-SiO2靶材的制備方法，其特征在于，由下列加工工藝步驟構成：
(1)選擇Co、Cr、Pt、Si及氧化物為原料粉末；其中Co的含量為45～65at％，Cr的含量為12～35at％,Pt的含量為3～20at％，Si的含量為4～15at％，氧化物的含量為2～20at％；
(2)將原料粉末進行混合，混合方式為行星球磨，采用介質球為鋼球、瑪瑙球或氧化鋯球，球料比為5:1～20:1，混粉時間為12～36小時；
(3)混粉后采用油壓機進行預壓成型，在壓強為10～200MPa下進行0.5～2小時的預壓成型；
(4)將步驟(3)中處理好的靶材錠坯抽真空至1x10-2～1x10-3Pa,再充Ar氣至1～20Pa，在850～1000℃進行固相反應合成，時間為1～4小時；
(5)將步驟(4)中處理好的靶材進行熱等靜壓處理，熱等靜壓溫度為1000～1500℃，壓強為100～150MPa，時間為1～16小時；
(6)進行機加工處理得到需要尺寸的靶材產品。
2.根據權利要求1所述的一種Co-Cr-Pt-SiO2靶材的制備方法，其特征在于，所述氧化物為Co3O4、CoO、Co2O3、Cr2O3中的一種或幾種的混合物。
3.根據權利要求1所述的一種Co-Cr-Pt-SiO2靶材的制備方法，其特征在于，靶材錠坯在進行固相反應合成過程中，氧化物與Si粉反應生成SiO2。
4.根據權利要求1所述的一種Co-Cr-Pt-SiO2靶材的制備方法，其特征在于，靶材錠坯在進行固相反應合成后，致密度可達到理論密度的95％以上。
5.根據權利要求1所述的一種Co-Cr-Pt-SiO2靶材的制備方法，其特征在于，靶材錠坯在進行固相反應合成后生成的SiO2顆粒細小，其粒度分布范圍為100～1000nm。
6.根據權利要求1所述的一種Co-Cr-Pt-SiO2靶材的制備方法，其特征在于，所述的原料粉末純度均大于或等于99.95wt％。
7.根據權利要求1所述的一種Co-Cr-Pt-SiO2靶材的制備方法，其特征在于，所述的原料粉末Co、Cr、Pt、Si粉末粒度為1～50μm，氧化物粒度為1～10μm。
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