[發明專利]多晶硅生產工藝中含有氯硅烷的尾氣的處理裝置

在審

• 申請號: 201410390226.7
• 申請日: 2014-08-08
• 公開（公告）號: CN105327600A
• 公開（公告）日: 2016-02-17
• 發明（設計）人: 周玲英;孫榮義;劉頂銳;蘇明;馮曉東;宋玲玲;藺明明;其他發明人請求不公開姓名
• 申請（專利權）人: 新特能源股份有限公司
• 主分類號: B01D53/75
• 分類號: B01D53/75;B01D53/78;B01D53/70;B01D53/96
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;鄧伯英

1.一種多晶硅生產工藝中含有氯硅烷的尾氣的處理裝置，其特征在于，包括：

尾氣儲罐，用于收集并儲存多晶硅生產工藝中含有氯硅烷的尾氣；

工業水一級淋洗塔，與所述尾氣儲罐連接，所述工業水一級淋洗塔用于將輸入的多晶硅生產工藝中含有氯硅烷的尾氣進行工業水一級淋洗；

堿液二級淋洗塔，與所述工業水一級淋洗塔連接，所述堿液二級淋洗塔用于將經過所述工業水一級淋洗塔淋洗過的尾氣進行堿液二級淋洗。

2.根據權利要求1所述的多晶硅生產工藝中含有氯硅烷的尾氣的處理裝置，其特征在于，還包括

pH值調節罐，分別與所述工業水一級淋洗塔，所述堿液二級淋洗塔連接，所述pH值調節罐用于將所述工業水一級淋洗塔輸出的酸液與所述堿液二級淋洗塔輸出的堿液進行中和后排出。

3.根據權利要求2所述的多晶硅生產工藝中含有氯硅烷的尾氣的處理裝置，其特征在于，還包括

壓濾機，與所述pH值調節罐連接，用于將所述pH值調節罐內的酸液和堿液中和后得到的物質進行壓濾，得到分離開的固體和液體。

4.根據權利要求2所述的多晶硅生產工藝中含有氯硅烷的尾氣的處理裝置，其特征在于，所述pH值調節罐至少為兩套，且并聯連接。

5.根據權利要求2所述的多晶硅生產工藝中含有氯硅烷的尾氣的處理裝置，其特征在于，還包括

第一安全液封槽，與所述pH值調節罐連接，所述第一安全液封槽內盛放有堿液，用于中和從所述pH值調節罐排出的尾氣中的氯化氫后放空。

6.根據權利要求1所述的多晶硅生產工藝中含有氯硅烷的尾氣的處理裝置，其特征在于，還包括

第二安全液封槽，與所述堿液二級淋洗塔連接，所述第二安全液封槽內盛放有堿液，用于中和從所述堿液二級淋洗塔排出的尾氣中的氯化氫后放空。

7.根據權利要求2所述的多晶硅生產工藝中含有氯硅烷的尾氣的處理裝置，其特征在于，還包括

工業水一級淋洗塔的酸液緩沖罐，分別與所述工業水一級淋洗塔、所述pH值調節罐連接，所述工業水一級淋洗塔的酸液緩沖罐用于緩沖從所述工業水一級淋洗塔的酸液緩沖罐輸入到所述pH值調節罐的酸液。

8.根據權利要求7所述的多晶硅生產工藝中含有氯硅烷的尾氣的處理裝置，其特征在于，所述工業水一級淋洗塔的酸液緩沖罐至少為兩套，且并聯連接。

9.根據權利要求7所述的多晶硅生產工藝中含有氯硅烷的尾氣的處理裝置，其特征在于，還包括

第三安全液封槽，與所述工業水一級淋洗塔的酸液緩沖罐連接，所述第三安全液封槽內盛放有堿液，用于中和從所述工業水一級淋洗塔的酸液緩沖罐排出的尾氣中的氯化氫后放空。

10.根據權利要求7所述的多晶硅生產工藝中含有氯硅烷的尾氣的處理裝置，其特征在于，所述工業水一級淋洗塔上設置有酸液循環入口，所述工業水一級淋洗塔的酸液緩沖罐還與所述酸液循環入口連接，所述工業水一級淋洗塔的酸液緩沖罐用于將其內的酸液再輸回到所述工業水一級淋洗塔內。

11.根據權利要求2所述的多晶硅生產工藝中含有氯硅烷的尾氣的處理裝置，其特征在于，還包括

堿液二級淋洗塔的堿液緩沖罐，分別與所述堿液二級淋洗塔、所述pH值調節罐連接，所述堿液二級淋洗塔的堿液緩沖罐用于緩沖從所述堿液二級淋洗塔的堿液緩沖罐輸入到所述pH值調節罐的堿液。

12.根據權利要求11所述的多晶硅生產工藝中含有氯硅烷的尾氣的處理裝置，其特征在于，所述堿液二級淋洗塔上設置有堿液循環入口，所述堿液二級淋洗塔的堿液緩沖罐還與所述堿液循環入口連接，所述堿液二級淋洗塔的堿液緩沖罐用于將其內的堿液再輸回到所述堿液二級淋洗塔內。