[發明專利]修復有機發光顯示設備的方法

在審

• 申請號: 201410389750.2
• 申請日: 2014-08-08
• 公開（公告）號: CN104425771A
• 公開（公告）日: 2015-03-18
• 發明（設計）人: 李在一;田效理;崔喜娟;樸英吉
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 康泉;宋志強

1.一種修復有機發光顯示設備的方法，所述有機發光顯示設備包括：基板；形成在所述基板上的有機發光器件；形成在所述基板上的薄膜晶體管；形成在所述薄膜晶體管上的有機絕緣層；以及形成在所述有機絕緣層上的導電圖案，所述導電圖案包括所述導電圖案中的兩個導電元件之間的短路部分，所述方法包括：

通過使用聚焦離子束來移除所述短路部分。

2.根據權利要求1所述的方法，其中移除所述短路部分包括：通過向出現所述短路部分的位置輻射離子束來對所述短路部分進行蝕刻。

3.根據權利要求2所述的方法，其中移除所述短路部分包括：向出現所述短路部分的位置供給含氟氣體。

4.根據權利要求3所述的方法，其中所述含氟氣體包括二氟化氙。

5.根據權利要求2所述的方法，其中移除所述短路部分包括：對出現所述短路部分的位置應用電荷中和器。

6.根據權利要求2所述的方法，其中移除所述短路部分包括：對出現所述短路部分的位置應用電荷移除器，

其中所述電荷移除器包括：

接觸單元，在所述接觸單元中形成有開口；以及

電荷移動單元，連接至所述接觸單元。

7.根據權利要求6所述的方法，

其中所述接觸單元包括通過絕緣單元彼此絕緣的第一電極單元和第二電極單元，并且

其中所述電荷移動單元連接至所述第一電極單元或所述第二電極單元。

8.根據權利要求1所述的方法，

其中所述有機發光器件包括第一電極、第二電極以及被布置在所述第一電極和所述第二電極之間的有機發射層，并且

其中所述導電圖案包括導線圖案和所述第一電極。

9.根據權利要求1所述的方法，其中所述第一電極和所述導線圖案由相同的金屬材料形成。

10.根據權利要求1所述的方法，其中所述聚焦離子束使用鎵作為源。

11.一種修復有機發光顯示設備的方法，所述有機發光顯示設備包括：基板；形成在所述基板上的有機發光器件；形成在所述基板上的薄膜晶體管；形成在所述薄膜晶體管上的有機絕緣層；以及形成在所述有機絕緣層上的導電圖案，所述導電圖案包括導電元件中的斷線，所述方法包括：

通過使用聚焦離子束來修復所述斷線。

12.根據權利要求11所述的方法，其中修復所述斷線包括：

向出現所述斷線的位置輻射沉積氣體；并且

從所述聚焦離子束向出現所述斷線的位置發射離子束。

13.根據權利要求12所述的方法，其中修復所述斷線包括：向出現所述斷線的位置供給含氟氣體。

14.根據權利要求13所述的方法，其中所述含氟氣體包括二氟化氙。

15.根據權利要求12所述的方法，其中修復所述斷線包括：對出現所述斷線的位置應用電荷中和器。

16.根據權利要求12所述的方法，其中修復所述斷線包括：對出現所述斷線的位置應用電荷移除器，

其中所述電荷移除器包括：

接觸單元，所述接觸單元中形成有開口；以及

電荷移動單元，連接至所述接觸單元。

17.根據權利要求16所述的方法，

其中所述接觸單元包括通過絕緣單元彼此絕緣的第一電極單元和第二電極單元，并且

其中所述電荷移動單元連接至所述第一電極單元或所述第二電極單元。

18.根據權利要求11所述的方法，

其中所述有機發光器件包括第一電極、第二電極以及被布置在所述第一電極和所述第二電極之間的有機發射層，并且

其中所述導電圖案包括導線圖案和所述第一電極。

19.根據權利要求18所述的方法，其中所述第一電極和所述導線圖案由相同的金屬材料形成。

20.根據權利要求11所述的方法，其中所述聚焦離子束使用鎵作為源。