[發(fā)明專利]一種太陽能硅片研磨液配方在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410387363.5 | 申請日: | 2014-08-07 |
| 公開(公告)號: | CN104130717A | 公開(公告)日: | 2014-11-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 徐俊 | 申請(專利權(quán))人: | 佳明新材料科技有限公司 |
| 主分類號: | C09G1/02 | 分類號: | C09G1/02;C09K3/14 |
| 代理公司: | 南京瑞弘專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 楊曉玲 |
| 地址: | 212216 江蘇省鎮(zhèn)*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 太陽能 硅片 研磨 配方 | ||
1.一種太陽能硅片研磨液配方,其特征在于,采用以下的技術(shù)配方:包括質(zhì)量比為磨料5%~25%,有機(jī)硅油1%~5%,分散滲透劑3%~8%,增稠劑1%~10%,金屬螯合劑0.1%~1%,PH調(diào)節(jié)劑,蒸餾水。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種太陽能硅片研磨液配方,其特征在于:有機(jī)硅油為氨基硅油氨乙基亞胺丙基聚硅氧烷。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種太陽能硅片研磨液配方,其特征在于:分散滲透劑選擇脂肪醇聚氧乙烯醚AEO-9,AEO-15或其混合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種太陽能硅片研磨液配方,其特征在于:增稠劑為羧甲基羥丙基纖維素。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種太陽能硅片研磨液配方,其特征在于:金屬螯合劑EDTA二鈉鹽。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種太陽能硅片研磨液配方,其特征在于:PH調(diào)節(jié)劑選擇氨或有機(jī)胺堿溶液。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述一種太陽能硅片研磨液配方,其特征在于:PH調(diào)節(jié)劑選擇氨水、二乙醇胺溶液。
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