[發明專利]壓電駐極體薄膜元件及其制備方法

有效

• 申請號: 201410383801.0
• 申請日: 2014-08-06
• 公開（公告）號: CN104347791B
• 公開（公告）日: 2016-11-23
• 發明（設計）人: 李彥坤;張曉青
• 申請（專利權）人: 貝骨新材料科技（上海）有限公司
• 主分類號: H01L41/053
• 分類號: H01L41/053;H01L41/113;H01L41/23;H01L41/25
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 馮子玲

技術領域

本發明涉及一種薄膜元件及該薄膜元件的制備方法，尤其涉及一種壓電駐極體薄膜元件及該壓電駐極體薄膜元件的制備方法。

背景技術

壓電駐極體薄膜是制作各種聲電、力電傳感器和作動器的敏感材料。壓電駐極體薄膜內部儲存有永久電荷，為了將其內部電荷感應出來，還需在所述壓電駐極體薄膜相對的兩個表面設置正負電極，以及用戶保護電極的絕緣保護層，這樣就形成壓電駐極體薄膜元件。直接在壓電駐極體薄膜上下面設置正負電極，必需保證上下電極在垂直投影面上對齊。而現有的壓電駐極體薄膜通常是孔洞型(如微孔聚丙烯薄膜、微孔聚四氟乙烯薄膜)，其薄膜本身不透明，造成了上下電極對位難的問題。另外，通常壓電駐極體薄膜的熱變形較大，若采用絲網印刷銀電極設置好后一面電極后，其壓電駐極體薄膜尺寸發生熱脹，使得正負電極產生錯位。

若將正負電極設置在透明的保護膜上，則壓電駐極體薄膜粘合需要一次性加工成型，其步驟是：1)先將電極設置在保護膜上，2)粘合儲存有永久電荷的壓電駐極體薄膜，3)再粘合另一層保護膜。然而在實施2)以后，由于壓電駐極體薄膜表面帶有靜電吸附作用，也容易積灰，在進行3)操作時，對位所需的移位的難度較大。

壓電駐極體薄膜與保護膜粘合時，通常采用瞬干膠，這種膠有一定的加工時間，不利于長時間操作。另外，瞬干膠固化后其膠變成固態，使得壓電駐極體薄膜元件的柔韌性降低。

發明內容

本發明的目的在于提出一種壓電駐極體薄膜元件及該壓電駐極體薄膜元件的制備方法，該壓電駐極體薄膜元件解決目前壓電駐極體薄膜元件柔性不佳、正負電極錯位問題，該壓電駐極體薄膜元件的制備方法目前工業生產出來的壓電駐極體薄膜生產過程難度大，需要一次性加工成型，不利于分階段專業化分批加工的技術問題。本發明壓電駐極體薄膜元件柔韌性好，本發明壓電駐極體薄膜元件的制備方法加工過程效率高，工藝簡單，適合于批量工業生產。

本發明是這樣實現的，一種壓電駐極體薄膜元件，其包括壓電駐極體薄膜(3)、信號電極(401)、第一接地電極(501)、上絕緣保護膜(4)、下絕緣保護膜(5)，上絕緣保護膜(4)、下絕緣保護膜(5)均呈透明狀，信號電極(401)、第一接地電極(501)分別通過第一壓敏膠(407)、第二壓敏膠(503)固定在壓電駐極體薄膜(3)的兩個相對表面上，上絕緣保護膜(4)、下絕緣保護膜(5)分別覆蓋在信號電極(401)、第一接地電極(501)上，上絕緣保護膜(4)上設置有第二接地電極(403)，第二接地電極(403)上設置電極保護層(405)，在上絕緣保護膜(4)和下絕緣保護膜(5)上分別定義出相接的壓電駐極體薄膜區域(1)和非壓電駐極體薄膜區域(2)，在電駐極體薄膜區域(1)內信號電極(401)的垂直投影小于與第二接地電極(403)的垂直投影，在非壓電駐極體薄膜區域(2)內信號電極(401)與第二接地電極(403)兩者的引腳垂直投影錯位。

作為上述方案的進一步改進，上絕緣保護膜(4)和下絕緣保護膜(5)上分別做有若干定位標記。

本發明還提供上述任意一種壓電駐極體薄膜元件的制備方法，其包括以下步驟：

一、設置導電電極：在透明的上絕緣保護膜(4)的相對兩側上設置第二接地電極(403)和信號電極(401)，在透明的下絕緣保護膜(5)的一側上設置第一接地電極(501)，在上絕緣保護膜(4)和下絕緣保護膜(5)上分別定義出相接的壓電駐極體薄膜區域(1)和非壓電駐極體薄膜區域(2)；

二、設置電極保護層：在上絕緣保護膜(4)的第二接地電極(403)上設置電極保護層(405)；

三、設置壓敏膠：在上絕緣保護膜(4)的壓電駐極體薄膜區域(1)中，且在信號電極(401)上依次設置第一壓敏膠(407)和第一離型膜(408)，在下絕緣保護膜(5)的壓電駐極體薄膜區域(1)中，且在第一接地電極(501)上依次設置第二壓敏膠(503)和第二離型膜(504)；

四、粘合非壓電駐極體薄膜區：將上絕緣保護膜(4)的非壓電駐極體薄膜區域(2)和下絕緣保護膜(5)的非壓電駐極體薄膜區域(2)采用第三壓敏膠(6)粘合固定，信號電極(401)與第一接地電極(501)位于第三壓敏膠(6)的相對兩側，第一離型膜(408)與第二離型膜(504)面面相對；