[發(fā)明專(zhuān)利]一種折射旋轉(zhuǎn)掃描干涉儀有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410382154.1 | 申請(qǐng)日： | 2014-08-05 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN104155004A | 公開(kāi)（公告）日： | 2014-11-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 徐亮;馮明春;高閩光;童晶晶;李勝;李相賢;張玉鈞;劉建國(guó);劉文清 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G01J3/45 | 分類(lèi)號(hào)： | G01J3/45 |
| 代理公司： | 安徽合肥華信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市蜀山區(qū)蜀*** | 國(guó)省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 折射 旋轉(zhuǎn) 掃描 干涉儀 | ||
1.一種折射旋轉(zhuǎn)掃描干涉儀，包括分束器和折射窗片，其特征在于：所述的分束器水平放置，所述的折射窗片位于分束器左側(cè)一定距離間隔處，所述的分束器和折射窗片中間的前后對(duì)稱(chēng)位置分別設(shè)有平面反射鏡一和平面反射鏡二，還包括拋物面鏡一和拋物面鏡二，角鏡一和角鏡二，所述的拋物面鏡一和拋物面鏡二與平面反射鏡一和平面反射鏡二關(guān)于分束器中心對(duì)稱(chēng)，所述的角鏡一和角鏡二與平面反射鏡一和平面反射鏡二關(guān)于折射窗片中心對(duì)稱(chēng)；所述的拋物面鏡一的焦點(diǎn)上設(shè)有光源，所述的拋物面鏡二的焦點(diǎn)上設(shè)有光探測(cè)系統(tǒng)；
所述的光源發(fā)射的光束經(jīng)拋物面鏡一反射得到平行光束入射到分束器上，所述的分束器將平行光束分為反射光路上的光束一和透射光路上的光束二，所述的反射光路上的光束一依次經(jīng)過(guò)平面反射鏡一、折射窗片到達(dá)角鏡二，所述的透射光路上的光束二依次經(jīng)過(guò)平面反射鏡二、折射窗片到達(dá)角鏡一，所述的折射窗片高速旋轉(zhuǎn)，所述的角鏡二和角鏡一反射光束一和光束二返回再次經(jīng)過(guò)折射窗片得到光束三和光束四，所述的光束三和光束四之間具有一定的光程差，并根據(jù)光路可逆，所述的光束三和光束四沿原路返回到分束器并發(fā)生干涉產(chǎn)生干涉光束，所述拋物面鏡二接收干涉光束并發(fā)送到探測(cè)器中進(jìn)行探測(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的折射旋轉(zhuǎn)掃描干涉儀，其特征在于：所述的光束一和光束二在折射窗片上交與一交叉點(diǎn)，所述的交叉點(diǎn)與所述的折射窗片中心重合，所述的折射窗片中心安裝有高速電機(jī)的轉(zhuǎn)軸，所述的折射窗片在高速電機(jī)的控制下高速旋轉(zhuǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的折射旋轉(zhuǎn)掃描干涉儀，其特征在于：所述的拋物面鏡一和拋物面鏡二為離軸拋物面鏡。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的折射旋轉(zhuǎn)掃描干涉儀，其特征在于：所述的光程差由折射窗片的厚度d、折射率n以及折射窗片旋轉(zhuǎn)角度θ共同決定，光程差為
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