[發明專利]一種太陽能電池的雙面擴散方法

有效

• 申請號: 201410376746.2
• 申請日: 2014-08-01
• 公開（公告）號: CN104143589B
• 公開（公告）日: 2020-02-14
• 發明（設計）人: 張勤杰;傅建奇;李秀青;杜飛龍;姚雁林
• 申請（專利權）人: 北京飛行博達電子有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/223
• 代理公司: 31275 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙)
• 代理人: 吳世華;林彥之

1.一種太陽能電池的雙面擴散方法，其特征在于，包括：

步驟S01：將兩個晶圓的背面相對貼合；

步驟S02：對兩個所述晶圓的正面進行第一摻雜元素擴散，在每個所述晶圓正面形成第一擴散層，同時在所述晶圓背面和邊緣形成第一雜質層；

步驟S03：將兩個所述晶圓分開，并采用濕法刻蝕去除每個所述晶圓背面和邊緣的第一雜質層；

步驟S04：將兩個所述晶圓的正面相對貼合，此時所述晶圓的正面僅為第一擴散層；

步驟S05：對兩個所述晶圓的背面進行第二摻雜元素擴散，在每個所述晶圓背面形成第二擴散層，同時在所述晶圓正面和邊緣形成第二雜質層，且所述晶圓正面的第二雜質層為由所述第二摻雜元素和所述第一摻雜元素形成的共摻雜層；

步驟S06：將兩個所述晶圓分開，并采用濕法刻蝕去除每個所述晶圓正面和邊緣的第二雜質層。

2.根據權利要求1所述的太陽能電池的雙面擴散方法，其特征在于，所述步驟S03采用化學腐蝕法去除所述第一雜質層，具體包括：將所述晶圓的背面向下接觸藥液，所述晶圓的正面向上而不接觸藥液；所述步驟S06采用化學腐蝕法去除所述第二雜質層，具體包括：將所述晶圓的正面向下接觸藥液，所述晶圓的背面向上而不接觸藥液。

3.根據權利要求2所述的太陽能電池的雙面擴散方法，其特征在于，所述化學腐蝕法所采用的藥液為酸性藥液。

4.根據權利要求3所述的太陽能電池的雙面擴散方法，其特征在于，所述化學腐蝕法所采用的溫度為0～25℃，浸泡時間為1～800秒。

5.根據權利要求3所述的太陽能電池的雙面擴散方法，其特征在于，所述酸性藥液為氫氟酸、硝酸和水的混合溶液；所述氫氟酸與硝酸的比例為1:(5～10)。

6.根據權利要求2所述的太陽能電池的雙面擴散方法，其特征在于，所述化學腐蝕法所采用的藥液為堿性藥液。

7.根據權利要求6所述的太陽能電池的雙面擴散方法，其特征在于，所述化學腐蝕法所采用的溫度為60～90℃，浸泡時間為1～800秒。

8.根據權利要求6所述的太陽能電池的雙面擴散方法，其特征在于，所述堿性藥液為氫氧化鈉或氫氧化鉀與異丙醇的混合溶液；所述氫氧化鈉或氫氧化鉀的質量分數為0.5～2.5％，所述異丙醇的質量分數為1～3％。