[發明專利]MEMS麥克風

有效

• 申請號: 201410376030.2
• 申請日: 2014-08-01
• 公開（公告）號: CN105338458B
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 胡永剛
• 申請（專利權）人: 無錫華潤上華科技有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

1.一種MEMS麥克風，其特征在于，包括基底、支撐部、上極板和下極板，所述基底設有貫通中間的開口，所述下極板跨設于所述開口，所述支撐部固定于所述下極板上，所述上極板貼于所述支撐部上，所述支撐部、所述上極板和所述下極板之間形成容腔，所述上極板和/或下極板的中間區域設有相對于所述容腔的一個凹部，所述上極板和所述下極板之間絕緣，所述支撐部包括一個獨立于所述支撐部方框型結構主體的支撐柱，所述支撐柱與所述支撐部方框型結構主體之間存在間隔，所述MEMS麥克風還包括上電極和下電極，所述上電極設置在所述支撐柱上，使得所述上電極與支撐部的方框型結構主體有所隔離以降低寄生電容的影響；所述上極板為柔韌性薄膜，所述下極板為堅硬性薄膜；或者所述上極板為堅硬性薄膜，所述下極板為柔韌性薄膜。

2.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述上極板或下極板設有多個聲孔。

3.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述凹部的形狀為圓形、多邊形中的一種。

4.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述上極板和所述下極板包含導電層。

5.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述基底的材料包括Si、Ge、SiGe、SiC、SiO2或Si3N4中的一種。

6.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述支撐部包含用于使所述上極板和所述下極板之間絕緣的第一絕緣層。

7.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述支撐部包括環形結構、多邊框形結構中的一種。

8.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述上電極和所述下電極的材質包括P型硅或N型硅中的一種，所述上電極和所述上極板電連接，所述下電極和所述下極板電連接。