[發明專利]一種調焦調平傳感器測量裝置

有效

• 申請號: 201410374962.3
• 申請日: 2014-07-31
• 公開（公告）號: CN104181777A
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發明（設計）人: 宗明成;李世光;王丹;魏志國;武志鵬;孫裕文
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00;G01B11/02
• 代理公司: 北京華沛德權律師事務所 11302
• 代理人: 劉杰

1.一種調焦調平傳感器測量裝置，用于對一待測硅片進行高度測量，所述其特征在于，所述待測硅片設置在一工件臺上，所述待測硅片的上表面上設置有光刻膠或具有不同結構；其中，所述裝置包括：

可調諧光源，所述可調諧光源用于提供一定頻率和帶寬的光；

測試光柵，用于接收來自所述可調諧光源的所述第一頻率的光；

第一成像系統，用于將所述測試光柵成像于所述待測硅片上；

第二成像系統，用于將所述測試光柵在所述待測硅片上的像再次成像到參考光柵上；

參考光柵，用于與所述測試光柵干涉形成莫爾條紋；

探測器，用于記錄所述莫爾條紋；

計算機，所述計算機與所述探測器、所述可調諧光源連接，用于接收所述莫爾條紋，并控制所述可調諧光源和所述探測器；

其中，所述計算機用于根據硅片上光刻膠或具體結構計算所述待測硅片的工藝相關性最小的光譜，并發送第一指令和第二指令，其中，所述第一指令發送給所述可調諧光源，用于調整所述可調諧光源的光譜；所述第二指令發送給所述探測器，用于調整所述探測器的響應譜段；

其中，所述計算機同時用于根據所述莫爾條紋獲得所述待測硅片的高度信息。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述可調諧光源具體為單一光源或多個光源的組合光源。

3.如權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述多個光源的組合光源包括：

第一光纖輸入光源；

第二光纖輸入光源；

光纖耦合器，所述光纖耦合器用于接收來自所述第一光纖輸入光源和所述第二光纖輸入光源的光；

其中，所述光纖耦合器將來自所述第一光纖輸入光源和所述第二光纖輸入光源的光合成第一光纖輸出光從所述光纖耦合器的輸出端輸出。

4.如權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述多個光源的組合光源包括：

第一自由光輸入光源；

第二自由光輸入光源；

第一光束合束器，所述第一光束合束器接收來自所述第一自由光輸入光源和所述第二自由光輸入光源的光；

其中，所述第一光束合束器將來自所述第一自由光輸入光源和第二自由光輸入光源的光合束成第一自由輸出光從所述第一光束合束器的輸出端輸出。

5.如權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：

反射鏡，用于反射來自所述第一自由光輸出光源的光。

6.如權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：

第三自由光輸入光源；

第二光束合束器，所述第二光束合束器接收來自所述第一光束合束器和所述第三自由光輸入光源的光；

其中，所述第二光束合束器將來自所述第一光束合束器和所述第三自由光輸入光源的光合束成第二自由輸出光從所述第二光束合束器的輸出端輸出。

7.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述探測器包括：

第一探測器，所述第一探測器可用于檢測至少兩個譜段。

8.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述探測器包括：

第二探測器，所述第二探測器用于檢測第一譜段；

第三探測器，所述第三探測器用于檢測第二譜段；

其中，所述第二探測器和所述第三探測器構成第一探測器陣列，所述第一探測器陣列用于檢測所述第一譜段和所述第二譜段。

9.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述探測器包括：

第四探測器，所述第四探測器用于檢測第三譜段和第四譜段；

第五探測器，所述第五探測器用于檢測第五譜段和第六譜段；

其中，所述第四探測器和所述第五探測器構成第二探測器陣列，所述第二探測器陣列用于檢測所述第三譜段、所述第四譜段、所述第五譜段、所述第六譜段。

10.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述工件臺具有調節單元，所述調節單元用于根據所述待測硅片的形貌實時調節高度和傾斜角度。