[發明專利]清洗水槍

在審

• 申請號: 201410374751.X
• 申請日: 2014-07-31
• 公開（公告）號: CN104241095A
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發明（設計）人: 樊文斌;嚴均華;王從剛;丁弋;朱也方
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 吳俊

1.一種清洗水槍，應用于晶圓的清洗工藝中，其特征在于，

所述水槍包括一槍體和一可拆卸的噴頭，所述槍體的槍口和噴頭通過螺紋活動連接，且所述噴頭為設有若干出水口的花灑式噴頭。

2.如權利要求1所述的水槍，其特征在于，所述槍體為中空，且該槍體設置有一進水口，該進水口通過軟管連接一清洗液輸送裝置；

所述清洗液輸送裝置通過所述軟管輸送清洗液至所述槍體內。

3.如權利要求2所述的水槍，其特征在于，所述槍體有一扳機，扣動所述扳機將所述槍體內的清洗液通過各所述出水口噴射出以對所述晶圓表面進行濕法清洗。

4.如權利要求3所述的水槍，其特征在于，所述噴頭與所述扳機之間的距離為晶圓直徑的1倍至2倍之間。

5.如權利要求2所述的水槍，其特征在于，所述噴頭設置有一旋轉式的前蓋組件，通過旋轉所述前蓋組件來控制流經所述出水口的清洗液流量及清洗液噴灑的面積。

6.如權利要求1所述的水槍，其特征在于，所述槍體及所述噴頭內壁均涂覆有一層防酸材料。

7.如權利要求1所述的水槍，其特征在于，所述水槍靠近噴頭處設置有一拐角，且所述拐角為鈍角。

8.如權利要求1所述的水槍，其特征在于，所述螺紋表面包覆有彈性材料。