[發明專利]氣體過濾方法有效
| 申請號： | 201410374698.3 | 申請日： | 2014-07-31 |
| 公開（公告）號： | CN104190180A | 公開（公告）日： | 2014-12-10 |
| 發明（設計）人： | 雷通;桑寧波 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | B01D47/02 | 分類號： | B01D47/02;C23C16/26 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 吳俊 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣體 過濾 方法 | ||
1.一種氣體過濾方法，應用于PECVD工藝中，其特征在于，包括如下步驟：?
步驟S1：提供一氣體存儲裝置，所述氣體存儲裝置內儲存有包括乙炔氣體和雜質的混合氣體，通過所述氣體存儲裝置外設的一氣閥將所述混合氣體輸送至一過濾系統；?
步驟S2：利用所述過濾系統對所述混合氣體進行過濾，濾去所述雜質，并將乙炔氣體輸送至一干燥系統；?
步驟S3：利用所述干燥系統對乙炔氣體進行干燥處理后輸送至一反應腔，并進行PECVD工藝。?
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述雜質為丙酮。?
3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述過濾系統包括一密閉的腔室，所述腔室內裝有去離子水，將所述混合氣體通入去離子水進行過濾，以濾去所述雜質。?
4.如權利要求3所述的方法，其特征在于，所述過濾系統還設置有一加熱裝置，通過所述加熱裝置使所述去離子水保持恒溫；?
且所述去離子水溫度為45℃～55℃。?
5.如權利要求3所述的方法，其特征在于，所述過濾系統設置有進水口和出水口，通過所述進水口和所述出水口使所述去離子水循環流動。?
6.如權利要求3所述的方法，其特征在于，所述干燥系統包括有冷凝管和干燥器，所述冷凝管的一端通過管路連接所述腔室的頂部，且該冷凝管的另一端連接所述干燥器；?
通過所述冷凝管對乙炔氣體進行初步冷卻并去除部分水汽，之后通過所述干燥器繼續進行冷卻處理。?
7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，所述干燥器為低溫干燥器或固堿干燥器。?
8.如權利要求1所述的方法，其特征在于，將經過所述干燥系統處理后的乙炔氣體輸送至所述反應腔之前，先通過一質量流量控制器對氣體流量進行調整。?
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