[發(fā)明專利]噴涂裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410372750.1
• 申請(qǐng)日: 2014-07-31
• 公開（公告）號(hào): CN105312171B
• 公開（公告）日: 2017-10-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林武郎;周明源;郭子瑋;甘東昇;郭明倫;方建利;鄭煌玉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 技鼎股份有限公司
• 主分類號(hào): B05B9/04
• 分類號(hào): B05B9/04;B05B15/04;B05B15/10;B05B15/02;B05B15/06;B05B15/00
• 代理公司: 北京華夏博通專利事務(wù)所(普通合伙)11264
• 代理人: 劉俊

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是關(guān)于一種噴涂裝置，特別是關(guān)于一種在半導(dǎo)體制程中用于進(jìn)行噴涂制程，并且具有壓力補(bǔ)償機(jī)制的噴涂裝置。

背景技術(shù)

噴涂裝置為在半導(dǎo)體制程中經(jīng)常使用的裝置，其主要功能是用于將一噴涂材料噴灑至半導(dǎo)體中的晶圓上，以進(jìn)行半導(dǎo)體制程中的噴涂制程。現(xiàn)有的噴涂裝置主要包括用于容置噴涂材料的儲(chǔ)料容器、設(shè)置于儲(chǔ)料容器中的攪拌棒、用于驅(qū)動(dòng)攪拌棒以攪拌儲(chǔ)料容器中的噴涂材料的攪拌馬達(dá)，以及用于將噴涂材料噴出至晶圓上的均勻噴涂元件。但是，由上述結(jié)構(gòu)所構(gòu)成的現(xiàn)有噴涂裝置在使用上具有下述缺點(diǎn)。

現(xiàn)有的噴涂裝置在噴涂材料使用完時(shí)，需要將儲(chǔ)料容器拆卸下來重新補(bǔ)充噴涂材料，不但在使用上會(huì)造成不便，更會(huì)由于造成制程終止而增加了制造上的成本。此外，隨著均勻噴涂元件使用的次數(shù)增加，經(jīng)由均勻噴涂元件送出的噴涂材料會(huì)有殘留在均勻噴涂元件中的情形，除了造成噴涂材料的浪費(fèi)外，更會(huì)使得均勻噴涂元件噴涂的壓力減弱，造成均勻噴涂元件噴出的噴涂材料的量減少，進(jìn)而影響噴涂制程的成效。

發(fā)明內(nèi)容

基于上述理由，本發(fā)明的目的在于提供一種具有補(bǔ)償機(jī)制的噴涂裝置，其是藉由壓力補(bǔ)償器來調(diào)整儲(chǔ)料容器中噴涂材料的液面壓，藉此補(bǔ)償噴涂裝置的噴涂量。

本發(fā)明的另一目的在于提供一種噴涂裝置，其包括一回收機(jī)構(gòu)，可以將殘留在該均勻噴涂元件中的噴涂材料送回至儲(chǔ)料容器中回收再利用。

本發(fā)明的再一目的在于提供一種噴涂裝置，其包括與儲(chǔ)料容器連接的一自動(dòng)定量連續(xù)加料裝置，可以方便操作者在不需拆裝儲(chǔ)料容器的情況下添加噴涂材料，并且減少噴涂裝置的停機(jī)時(shí)間。

本發(fā)明的又一目的在于提供一種噴涂裝置，其包括一雷射對(duì)位器，可以直接在均勻噴涂元件下方的位置顯示一雷射定位點(diǎn)，藉此減少肉眼對(duì)位的偏差，增加噴涂裝置的準(zhǔn)確度。

為達(dá)成前述目的，本發(fā)明提供一種噴涂裝置，其包括：一基座、一儲(chǔ)料容器、一自動(dòng)定量連續(xù)加料裝置、一均勻噴涂元件以及一壓力補(bǔ)償器。所述儲(chǔ)料容器具有一輸出端以及一固定端，其固定端經(jīng)由一連接座固定于基座上。所述自動(dòng)定量連續(xù)加料裝置設(shè)置于連接座的一側(cè)并且經(jīng)由一加料管路與儲(chǔ)料容器連接，藉此將其內(nèi)所容置的一噴涂材料添加至儲(chǔ)料容器中。所述均勻噴涂元件固定于該基座上，并且經(jīng)由一進(jìn)料管路與該儲(chǔ)料容器的輸出端連接，用以將該儲(chǔ)料容器中的噴涂材料輸出。所述壓力補(bǔ)償器連接于一加壓通道。所述加壓通道設(shè)置于連接座中并且與儲(chǔ)料容器連通。所述壓力補(bǔ)償器根據(jù)預(yù)先設(shè)定的補(bǔ)償資料對(duì)儲(chǔ)料容器中的噴涂材料施加補(bǔ)償壓力，且所施加的補(bǔ)償壓力隨著噴涂裝置的噴涂次數(shù)遞增而增加。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，所述噴涂裝置進(jìn)一步包括一回收機(jī)構(gòu)，其包括：一回流管路，其兩端分別連接于均勻噴涂元件以及儲(chǔ)料容器；以及，一供料裝置，與回流管路連接，用以將殘留在均勻噴涂元件中的噴涂材料從均勻噴涂元件經(jīng)由回流管路送回至儲(chǔ)料容器中。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，所述噴涂裝置進(jìn)一步包括一雷射對(duì)位器。雷射對(duì)位器透過一固定架設(shè)置在基座上，用以對(duì)準(zhǔn)均勻噴涂元件的噴射位置射出一雷射對(duì)位點(diǎn)。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，所述噴涂裝置進(jìn)一步包括一攪拌機(jī)構(gòu)。攪拌機(jī)構(gòu)包括：一攪拌馬達(dá)，設(shè)置于該連接座上；以及一攪拌棒，設(shè)置于該儲(chǔ)料容器中。其中，該攪拌馬達(dá)在該連接座中經(jīng)由一連接軸承與該攪拌棒連接，以驅(qū)動(dòng)該攪拌棒轉(zhuǎn)動(dòng)并攪拌該儲(chǔ)料容器中的噴涂材料。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，所述連接座包括了一第一連接座以及一第二連接座。所述第一連接座設(shè)置于基座上。上述攪拌馬達(dá)設(shè)置于第一連接座上，且自動(dòng)定量連續(xù)加料裝置設(shè)置于第一連接座的一側(cè)。所述第二連接座設(shè)置于第一連接座下方。上述儲(chǔ)料容器設(shè)置于第二連接座下方。加壓通道的一開口設(shè)置在第二連接座的一側(cè)，且加壓通道在第二連接座中與儲(chǔ)料容器連通。其中，攪拌棒穿過第二連接座，并且在第一連接座中透過所述連接軸承與攪拌馬達(dá)連接。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，所述攪拌棒穿過至少兩個(gè)線性軸承而設(shè)置在第二連接座中。此外，所述第二連接座與儲(chǔ)料容器連接的一端設(shè)置有一密封軸承。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，攪拌棒上設(shè)置有多個(gè)葉片，該葉片在攪拌棒的外周面上沿著其圓周方向?qū)ΨQ地設(shè)置。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，所述均勻噴涂元件進(jìn)一步包括：一霧化蓋體，具有彼此連通的一容置空間、一噴口以及一進(jìn)氣通道；一噴頭主體，容置于該霧化蓋體的容置空間中，并且與進(jìn)料管路連接；一針頭，與噴頭主體一體形成，且針頭穿設(shè)于噴口中；以及一進(jìn)氣管，設(shè)置于進(jìn)氣通道中，用以對(duì)噴口加壓。其中，噴涂材料經(jīng)由進(jìn)料管路被輸送至噴頭主體，流經(jīng)針頭后由噴口霧化噴出。