[發明專利]靶材加工設備以及加工方法

有效

• 申請號: 201410371498.2
• 申請日: 2014-07-30
• 公開（公告）號: CN105436585B
• 公開（公告）日: 2019-03-12
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;大巖一彥;王學澤;周建軍
• 申請（專利權）人: 合肥江豐電子材料有限公司
• 主分類號: B23C3/28
• 分類號: B23C3/28;B23C3/34
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 高靜;駱蘇華

1.一種靶材加工設備，用于在靶材表面形成密封槽，其特征在于，包括：

銑切設備，用于銑切靶材表面以形成所述密封槽；

所述銑切設備包括具有回轉中心軸的銑刀，所述銑刀能夠繞所述回轉中心軸自轉，并沿預設軌跡移動；

所述銑刀包括體部以及設于所述體部一端用于銑切靶材的銑切部；

所述靶材表面具有作為所述銑刀入刀和退刀的排氣槽，所述排氣槽的深度小于所述密封槽的深度。

2.如權利要求1所述的靶材加工設備，其特征在于，所述銑切部的橫截面呈上小下大的梯形；所述密封槽為燕尾槽形狀的密封槽。

3.如權利要求1所述的靶材加工設備，其特征在于，所述銑切部呈圓柱形，銑切部的側面開設有凹槽，用于排出銑切碎屑。

4.如權利要求1所述的靶材加工設備，其特征在于，所述銑切部包括沿所述回轉中心軸均布的若干片刀刃。

5.如權利要求4所述的靶材加工設備，其特征在于，所述銑切部包括4片刀刃，所述刀刃之間的夾角為90度。

6.如權利要求1所述的靶材加工設備，其特征在于，所述銑刀的材料為鎢鋼或者白鋼。

7.一種靶材的加工方法，用于在靶材表面形成密封槽，其特征在于，包括：提供待加工靶材，在所述待加工靶材表面形成若干排氣槽；

提供銑切設備；

通過所述銑切設備銑切所述靶材表面以形成密封槽，以所述排氣槽作為所述銑切設備的銑刀的入刀點，在形成所述密封槽后，以所述排氣槽作為所述銑刀的退刀點，所述排氣槽的深度小于所述密封槽的深度。

8.如權利要求7所述的加工方法，其特征在于，提供銑切設備的步驟包括：使所述銑切設備包括具有回轉中心軸的銑刀，所述銑刀包括體部以及設于體部端部的銑切部，所述銑切部的截面呈梯形；

通過所述銑切設備銑切所述靶材表面以形成密封槽的步驟包括：形成燕尾槽形狀的密封槽。

9.如權利要求7所述的加工方法，其特征在于，通過所述銑切設備銑切所述靶材表面以形成密封槽的步驟包括：在所述待加工靶材表面形成三角形軌跡形狀密封槽。