[發明專利]壓力傳感器測試裝置及其測試方法

在審

• 申請號: 201410371305.3
• 申請日: 2014-07-30
• 公開（公告）號: CN105352656A
• 公開（公告）日: 2016-02-24
• 發明（設計）人: 徐伯強;顧堅儉;張新偉;蘇佳樂
• 申請（專利權）人: 無錫華潤上華半導體有限公司
• 主分類號: G01L25/00
• 分類號: G01L25/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 舒丁

技術領域

本發明涉及半導體器件測試領域，特別涉及一種壓力傳感器測試裝置及其測試方法。

背景技術

MEMS(MicroElectroMechanicalSystems,微電子機械系統)是利用集成電路制造技術和微加工技術把微結構、微傳感器、微執行器、控制處理電路甚至接口、通信和電源等制造在一塊或多塊芯片上的微型集成系統。

壓力傳感器是將壓力信號轉換為電學信號的換能器，是商業化的傳感器中的重要組成部分。與傳統壓力傳感器相比，采用MEMS技術制備的壓力傳感器在體積、功耗、重量以及價格等方面有十分明顯的優勢。目前，利用MEMS技術制作的壓力傳感器已廣泛用于汽車工業、生物醫學、工業控制、能源、以及半導體工業等眾多領域。

在研發和生產過程中對壓力傳感器進行溫度壓力特性參數測試十分重要，目前市場上壓力傳感器的測試裝置十分少見，在對壓力傳感器進行溫度壓力特性參數測試時，一般廠家會自行制作簡便的測試工具和測試裝置，從而使得測試數據不夠精準和穩定，影響對產品的調整和改進。

發明內容

鑒于此，有必要提供一種測試數據精準和穩定的壓力傳感器測試裝置及其測試方法。

一種壓力傳感器測試裝置，包括多針連接器、測試容器和氣路模塊，所述多針連接器與所述測試容器形成可拆卸密封連接，所述氣路模塊與所述測試容器形成氣路密封連接；所述多針連接器包括本體和多根設置在所述本體上相互絕緣的金屬插針，所述多針連接器的金屬插針用于使所述測試容器內的傳感器與所述測試容器外的測試電路形成電連接。

在其中一個實施例中，所述多針連接器包含航空插頭。

在其中一個實施例中，還包括多針插座，所述測試電路能夠與所述多針插座形成電連接，所述多針連接器和所述多針插座配合連接。

在其中一個實施例中，所述多針插座為航空插座。

在其中一個實施例中，所述多針連接器經過密封處理以保證氣密性。

在其中一個實施例中，所述密封處理為加膠密封。

在其中一個實施例中，所述金屬插針的數量不少于4根。

在其中一個實施例中，所述多針連接器與所述測試容器形成螺紋連接、插拔連接或卡扣連接。

在其中一個實施例中，還包括位于所述測試容器中的傳感器芯片座，所述傳感器芯片座與所述多針連接器形成電連接，傳感器和所述傳感器芯片座形成可拆卸電連接。

一種壓力傳感器測試方法，包括步驟：

傳感器置于測試容器內；傳感器按管腳定義連接到多針連接器上；所述多針連接器和所述測試容器密封連接；測試電路和所述多針連接器電連接；安裝氣路模塊。

上述壓力傳感器測試裝置及其測試方法，測試時測試容器里的壓力傳感器通過金屬插針和測試容器外界的電路連接，既保證了氣密性，也保證了信號傳輸的物理穩定性，使得測試數據精確和穩定，為產品的改進提供更精確的一線數據。

附圖說明

圖1為一個實施例壓力傳感器測試裝置的立體示意圖；

圖2為一個實施例壓力傳感器測試裝置的結構示意圖；

圖3為一個實施例壓力傳感器測試裝置測試方法的流程圖。

具體實施方式

下面結合附圖，對本發明的具體實施方式進行詳細描述。

圖1為一個實施例壓力傳感器測試裝置的立體示意圖。

一種壓力傳感器測試裝置，包括多針連接器100、測試容器200和氣路模塊300，多針連接器100與測試容器200形成可拆卸密封連接，氣路模塊300與測試容器200形成氣路密封連接；多針連接器100包括本體和多根設置在本體上相互絕緣的金屬插針120，多針連接器100的金屬插針120用于使測試容器100內的傳感器與測試容器100外的測試電路形成電連接。

上述壓力傳感器測試裝置，測試時測試容器200里的壓力傳感器通過金屬插針120和測試容器200外界的電路連接，既保證了氣密性，也保證了信號傳輸的物理穩定性，使得測試數據精確和穩定，為產品的改進提供更精確的一線數據。

圖2為一個實施例壓力傳感器測試裝置的結構示意圖。

一種壓力傳感器測試裝置，包括多針連接器100、測試容器200、氣路模塊300和多針插座400，多針連接器100與測試容器200形成可拆卸密封連接，氣路模塊300與測試容器200形成氣路密封連接，多針連接器100和多針插座400配合連接，外界測試電路10與多針插座400通過導線形成電連接。氣路模塊300用于提供測試所需氣壓。