[發明專利]架構包含介電粒子支撐體的納米構造的方法

在審

• 申請號: 201410370876.5
• 申請日: 2014-07-30
• 公開（公告）號: CN104733613A
• 公開（公告）日: 2015-06-24
• 發明（設計）人: 金俊亨
• 申請（專利權）人: SK新技術株式會社
• 主分類號: H01L51/40
• 分類號: H01L51/40;H01L51/48;H01L51/56
• 代理公司: 上海一平知識產權代理有限公司 31266
• 代理人: 須一平

1.一種納米結構的制造方法，其特征在于，包括：

形成多個介電粒子支撐體于一基板之上，所述介電粒子支撐體上包括多個連接分子；

形成多個金屬離子于所述連接分子之上；以及

形成一或多個金屬納米粒子于所述連接分子之上。

2.如權利要求1所述的制造方法，其特征在于該形成多個金屬離子于所述連接分子之上的步驟包括：

將所述金屬離子鍵結至所述連接分子。

3.如權利要求2所述的制造方法，其特征在于該形成一或多個金屬納米粒子的步驟包括：

生長與所述連接分子鍵結的所述金屬離子。

4.如權利要求3所述的制造方法，其特征在于該形成一或多個金屬納米粒的步驟包括：

施加能量至所述金屬離子。

5.如權利要求3所述的制造方法，其特征在于，進一步包括：將一介電有機材料與一無機氧化物的至少之一鍵結至每一個所述金屬納米粒子的一表面。

6.如權利要求3所述的制造方法，進一步包括：

在形成一或多個金屬納米粒子之前或期間提供一或多種之一有機表面活性劑。

7.如權利要求6所述的制造方法，其特征在于該有機表面活性劑為一含氮有機材料或一含硫有機材料。

8.如權利要求6所述的制造方法，其特征在于該有機表面活性劑包括一第一有機材料及不同種類的一第二有機材料；該第一有機材料為一含氮有機材料或一含硫有機材料；以及

該第二有機材料為一相轉移催化劑基有機材料。

9.如權利要求3所述的制造方法，其特征在于該形成多個介電粒子支撐體于一基板之上，所述介電粒子支撐體上包括多個連接分子的步驟，包括：

在一連接溶液中混和所述介電粒子支撐體以準備一介電粒子支撐體溶液；以及

施加或沉積該介電粒子支撐體溶液至該基板或施加或沉積該介電粒子支撐體溶液于該基板上。

10.如權利要求3所述的制造方法，其特征在于所述介電粒子支撐體包括一介電材料，其具有選自下組的至少一元素，包括：過渡金屬、后-過渡金屬、及類金屬。

11.如權利要求3所述的制造方法，其特征在于所述介電粒子支撐體包括選自下組的至少一種材料，包括：硅氧化物、鉿氧化物、鋁氧化物、鋯氧化物、鋇-鈦復合氧化物、釔氧化物、鎢氧化物、鉭氧化物、鋅氧化物、鈦氧化物、錫氧化物、鋇-鋯復合氧化物、氮化硅、氮氧化硅、硅酸鋯、硅酸鉿、及聚合物。

12.如權利要求3所述的制造方法，其特征在于所述連接分子包括選自下組的一官能團，包括：胺基、羧基、及硫醇基，以與所述金屬離子鍵結。

13.如權利要求3所述的制造方法，其特征在于將多個金屬離子鍵結至所述連接分子的步驟包括：

施加一金屬前驅物至所述連接分子。

14.如權利要求3所述的制造方法，其特征在于將多個金屬離子鍵結至所述連接分子的步驟包括：

施加溶解有一金屬前驅物的一金屬前驅物溶液至所述連接分子所鍵結的一結構，或提供一氣態金屬前驅物至所述連接分子所鍵結的該結構。

15.如權利要求4所述的制造方法，其特征在于該能量為選自下組的一或多種，包括：熱能、化學能、光能、振動能、離子束能、電子束能、及輻射能。

16.如權利要求4所述的制造方法，其特征在于所述金屬納米粒子系由選自下組的一所形成，包括：金屬納米粒子、金屬氧化物納米粒子、金屬氮化物納米粒子、金屬碳化物納米粒子、及金屬間化合物納米粒子。

17.如權利要求4所述的制造方法，其特征在于該能量是同時施加至所有的金屬離子鍵結區域。

18.如權利要求4所述的制造方法，其特征在于該能量是選擇性或間歇性地施加以維持一部分的該金屬離子免于被粒子化。

19.如權利要求3所述的制造方法，其特征在于該形成一基板的步驟包括：

形成能夠鍵結所述連接分子的一表面層于該基板的一表面上。

20.如權利要求19所述的制造方法，其特征在于該表面層系由選自下組的一或多種形成，包括：金屬、金屬氧化物、半導體、及半導體氧化物。

21.如權利要求4所述的制造方法，其特征在于該能量的施加被調整以控制所述金屬納米粒子的一尺寸或密度。