[發(fā)明專利]一種基于壓曲放大的引信安保裝置用V型MEMS執(zhí)行器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410369768.6
• 申請(qǐng)日: 2014-07-30
• 公開（公告）號(hào): CN104154828A
• 公開（公告）日: 2014-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙玉龍;李秀源;胡騰江;徐文舉;白穎偉;任煒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安交通大學(xué)
• 主分類號(hào): F42C15/00
• 分類號(hào): F42C15/00
• 代理公司: 西安智大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61215
• 代理人: 賀建斌

1.一種基于壓曲放大的引信安保裝置用V型MEMS執(zhí)行器，其特征在于：

包括單晶硅襯底(1)，單晶硅襯底(1)上制作有直徑為150～180um的加速膛孔(5)，加速膛孔(5)是飛片材料的通道，二氧化硅絕緣層(2)在單晶硅襯底(1)上生長(zhǎng)，生長(zhǎng)厚度為2～3um，將單晶硅結(jié)構(gòu)層(3)與生長(zhǎng)了二氧化硅絕緣層(2)的單晶硅襯底(1)鍵合，單晶硅結(jié)構(gòu)層(3)的厚度為50～100um，金屬電極層(4)沉積在單晶硅結(jié)構(gòu)層(3)的錨點(diǎn)(3-2)上；

還包括錨點(diǎn)(3-2)，成陣列結(jié)構(gòu)的V型梁熱電驅(qū)動(dòng)單元(3-1)的兩端與錨點(diǎn)(3-2)連接，中間臂(3-3)位于V型梁熱電驅(qū)動(dòng)單元(3-1)的中間并與之相互固定，連接臂(3-4)的兩端分別與上下兩側(cè)放大梁(3-5)的首端相連接，連接臂(3-4)的中間部分與中間臂(3-3)的首端連接，隔板(3-6)分別與左右兩側(cè)放大梁(3-5)的末端相連接，隔板(3-6)將加速膛孔(5)擋住；

除去與錨點(diǎn)(3-2)鍵合的部分，其余的二氧化硅絕緣層(2)將被腐蝕掉，使熱電驅(qū)動(dòng)單元(3-1)、中間臂(3-3)、連接臂(3-4)、放大梁(3-5)以及隔板(3-6)懸空，形成最終的可動(dòng)結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于壓曲放大的引信安保裝置用V型MEMS執(zhí)行器，其特征在于：所述的V型梁熱電驅(qū)動(dòng)單元(3-1)的總長(zhǎng)度為1000～2000um，寬為30～40um，中間夾角為160～170°，每組V型梁熱電驅(qū)動(dòng)單元(3-1)之間的間距為80～100um。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于壓曲放大的引信安保裝置用V型MEMS執(zhí)行器，其特征在于：所述的放大梁(3-5)的長(zhǎng)度為1500～2000um，寬度為10～15um,傾角為2～5°。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于壓曲放大的引信安保裝置用V型MEMS執(zhí)行器，其特征在于：所述的隔板(3-6)為邊長(zhǎng)200～250um的正方形結(jié)構(gòu)。