[發明專利]一種軌道導向電極

在審

• 申請號: 201410369389.7
• 申請日: 2014-07-31
• 公開（公告）號: CN104099566A
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 陳生販;江裕捺;陳生鎮;田曉東
• 申請（專利權）人: 上海寶鍍真空設備科技有限公司
• 主分類號: C23C14/14
• 分類號: C23C14/14;C23C14/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種軌道導向電極，其特征在于：包括正極銅軸、固體板、正電極墻板、正極銅軸固定板、絕緣膠木套、直線導軌、電極導向板、彈性裝置、正極擋熱片、坩堝和負極銅軸，所述正極銅軸下端設有固體板和正極銅軸固定板，所述固體板與正極銅軸固定板連接，所述正電極墻板固定在正極銅軸的下端，所述絕緣膠木套設置在正極銅軸固定板的下端，所述直線導軌安裝在電極導向板的上端，所述彈性裝置連接在電極導向板的一端，所述正極擋熱片固定在正極銅軸的一端，所述坩堝一端連接在負極銅軸上。

2.根據權利要求1所述的一種軌道導向電極，其特征在于：所述坩堝為氮化硼。

3.根據權利要求1所述的一種軌道導向電極，其特征在于：所述直線導軌安裝在蒸發箱底部上。