[發明專利]拋光液粘度監測方法及監測裝置在審

申請號：	201410366726.7	申請日：	2014-07-29
公開（公告）號：	CN105319149A	公開（公告）日：	2016-02-10
發明（設計）人：	肖東風;賈照偉;王堅;王暉	申請（專利權）人：	盛美半導體設備(上海)有限公司
主分類號：	G01N11/00	分類號：	G01N11/00
代理公司：	上海專利商標事務所有限公司 31100	代理人：	張振軍
地址：	201203 上海市浦東新區中***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	拋光粘度監測方法裝置
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【說明書】：

技術領域

本發明涉及電化學拋光技術領域，尤其涉及一種拋光液的粘度監測方法及監測裝置。

背景技術

電化學拋光需要使用能夠導電的拋光液，其中，拋光液的粘度是電化學拋光工藝中的重要技術參數。拋光液的粘度容易受環境溫度、濕度等因素變化的影響，拋光液的粘度過高或過低都會影響電化學拋光的去除率和片間均勻性，拋光液的粘度穩定性也直接影響拋光工藝的可重復性。因此，在電化學拋光過程中，需要實時監測拋光液的粘度，并根據拋光液的粘度變化對拋光液的粘度進行調控。

發明內容

本發明旨在提供一種能夠實時監測拋光液的粘度，并根據拋光液的粘度變化對拋光液的粘度進行調控，使拋光液的粘度維持穩定的拋光液粘度監測方法及監測裝置。

根據本發明的一個實施例，提出的拋光液粘度監測方法，包括如下步驟：測量拋光液的溫度和拋光液的電阻率/電導率；根據測量得到的電阻率/電導率以及拋光液的電阻率/電導率與拋光液的物理粘度之間的關系，計算出與該測量得到的電阻率/電導率相對應的物理粘度；根據測量得到的拋光液的溫度和計算出的拋光液的物理粘度，計算拋光液的溫度補償粘度并將該溫度補償粘度和設定的溫度補償粘度作比較，根據比較結果調節拋光液的粘度。

根據本發明的一個實施例，提出的拋光液粘度監測裝置，包括拋光液槽、電阻率/電導率測量裝置、溫度測量裝置及控制器。拋光液槽盛有拋光液。電阻率/電導率測量裝置測量拋光液的電阻率/電導率。溫度測量裝置測量拋光液的溫度。控制器分別與電阻率/電導率測量裝置及溫度測量裝置連接，控制器根據電阻率/電導率測量裝置測量得到的電阻率/電導率以及拋光液的電阻率/電導率與拋光液的物理粘度之間的關系計算出與該電阻率/電導率相對應的拋光液的物理粘度，然后再根據溫度測量裝置測量得到的拋光液的溫度和計算出的拋光液的物理粘度計算拋光液的溫度補償粘度并將該溫度補償粘度和設定的溫度補償粘度作比較，根據比較結果調節拋光液的粘度。

綜上所述，本發明拋光液粘度監測方法及監測裝置通過監測拋光液的電阻率或電導率實現了實時監測拋光液的粘度，并根據拋光液的粘度變化對拋光液的粘度進行調控，使拋光液的粘度維持穩定的目的。

附圖說明

圖1揭示了本發明的拋光液粘度監測方法的流程圖。

圖2揭示了根據本發明的第一實施例的拋光液粘度監測方法的流程圖。

圖3揭示了根據本發明的第二實施例的拋光液粘度監測方法的流程圖。

圖4揭示了根據本發明的第一實施例的拋光液粘度監測裝置的結構示意圖。

圖5揭示了根據本發明的第二實施例的拋光液粘度監測裝置的結構示意圖。

圖6揭示了拋光液的電阻率與拋光液的物理粘度之間的關系示意圖。

具體實施方式

為詳細說明本發明的技術內容、構造特征、所達成目的及效果，下面將結合實施例并配合圖式予以詳細說明。

參考圖1所示，揭示了本發明的拋光液粘度監測方法的流程圖。該拋光液粘度監測方法包括如下步驟：

步驟S11：測量拋光液的溫度和拋光液的電阻率/電導率(也就是電阻率或電導率)；