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[發(fā)明專利]用于確定離子質(zhì)量選擇的裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201410365969.9 申請日: 2014-05-15
公開(公告)號: CN104217918B 公開(公告)日: 2018-03-09
發(fā)明(設(shè)計)人: A·格拉斯馬徹斯;M·阿里曼 申請(專利權(quán))人: 卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司
主分類號: H01J49/28 分類號: H01J49/28
代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所11105 代理人: 侯宇
地址: 德國*** 國省代碼: 暫無信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 用于 確定 離子 質(zhì)量 選擇 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種用于質(zhì)量篩選地確定至少一種離子的裝置(1400),具有

-至少一個用于儲存至少一個離子的離子阱(1404),其中離子阱(1404)具有至少一個環(huán)形電極(1401),其中環(huán)形電極(1401)具有至少一個第一開口,其中離子阱(1404)具有至少一個安置在第一開口上的第一電極(1402),

-至少一個用于為離子阱(1404)提供高頻儲存信號的放大器(1408),并且具有

-至少一個第一變壓器(1411),它與放大器(1408)和第一電極(1402)這樣連接,使得高頻儲存信號通過第一變壓器(1411)耦合進(jìn)第一電極(1402)中,并且具有

-至少一個初級變壓器(1409),其中,初級變壓器(1409)和第一變壓器(1411)具有相同的變壓器芯和相同的初級繞組(1428),其中,初級變壓器(1409)具有第一次級繞組(1429),其中,第一變壓器(1411)具有不同于第一次級繞組(1429)的第二次級繞組(1430),并且其中,第一次級繞組(1429)的繞組方向和第二次級繞組(1430)的繞組方向是不同的。

2.按權(quán)利要求1所述的裝置(1400),其中,環(huán)形電極(1401)具有至少一個第二開口,并且其中,離子阱(1404)具有至少一個安置在第二開口上的第二電極(1403)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置(1400),其中,第一電極(1402)與至少一個第一石英晶體濾波裝置(1414)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置(1400),其中

-在第一變壓器(1411)和第一電極(1402)之間連接至少一個第一可調(diào)節(jié)的電容器(1410),并且其中

-第一石英晶體濾波裝置(1414)連接在也連接了第一可調(diào)節(jié)的電容器(1410)和第一電極(1402)的第一電路結(jié)點上。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置(1400),其中

-裝置(1400)具有至少一個用于加強(qiáng)第一電極(1402)的第一測量信號的第一測量放大器(1416),并且其中

-第一電極(1402)和用于為第一電極(1402)產(chǎn)生第一激勵信號的第一激勵單元(1417)與第一測量放大器(1416)的輸入端連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置(1400),其中裝置(1400)具有至少一個以下特征:

-在第一電極(1402)和第一激勵單元(1417)之間安置第一開關(guān)(1418),或者

-在第一激勵單元(1417)和第一測量放大器(1416)之間安置第二開關(guān)(1419)。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置(1400),其中裝置(1400)具有至少一個第二變壓器(1413),它與放大器(1408)和與第二電極(1403)這樣地連接,使得高頻儲存信號通過第二變壓器(1413)耦合進(jìn)第二電極(1403)中。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置(1400),其中

-初級變壓器(1409)和第二變壓器(1413)具有相同的變壓器芯和相同的初級繞組(1428),

-初級變壓器(1409)具有第一次級繞組(1429),

-第二變壓器(1413)具有不同于第一次級繞組(1429)的第三次級繞組(1431),并且其中

-第一次級繞組(1429)的繞組方向和第三次級繞組(1431)的繞組方向是不同的。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的裝置(1400),其中,第二電極(1403)和至少一個第二石英晶體濾波裝置(1415)連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置(1400),其中

-在第二變壓器(1413)和第二電極(1403)之間連接至少一個第二可調(diào)節(jié)的電容器(1412),并且其中

-第二石英晶體濾波裝置(1415)連接在也連接了第二可調(diào)節(jié)的電容器(1412)和第二電極(1403)的第二電路結(jié)點上。

11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置(1400),其中

-裝置(1400)具有至少一個用于加強(qiáng)第二電極(1403)的第二測量信號的第二測量放大器(1422),并且其中

-第二電極(1403)和用于為第二電極(1403)產(chǎn)生第二激勵信號的第二激勵單元(1423)與第二測量放大器(1422)的輸入端連接。

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