[發(fā)明專利]基板分?jǐn)嘌b置及基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410364679.2
• 申請日: 2013-04-03
• 公開（公告）號: CN104150756B
• 公開（公告）日: 2018-01-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 西尾仁孝
• 申請（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: C03B33/02
• 分類號: C03B33/02;C03B35/00
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11019
• 代理人: 壽寧,張華輝

1.一種基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其包含：

第1傳送部及第2傳送部，在設(shè)置臺上，沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔著間隔配置，且具備在載置該基板的狀態(tài)下卷繞于多個(gè)輥?zhàn)佣M(jìn)行旋轉(zhuǎn)的帶部；

刻劃單元，設(shè)置于該第1傳送部與第2傳送部之間并對該基板進(jìn)行刻劃；

跳動輥?zhàn)訂卧谠摰?方向，設(shè)置在位于該第2傳送部的上游側(cè)的上游側(cè)第2傳送部與位于下游側(cè)的下游側(cè)第2傳送部之間，且至少具備一對第1輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)樱?/p>

第1制動器，使該上游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)移動停止；以及

第2制動器，使該下游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)移動停止；

在該第1傳送部的帶部上，設(shè)置有沿該第1方向設(shè)置成可往前后移動的夾頭梁，以及形成于該夾頭梁一側(cè)并把持該基板的夾頭；

該第1輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部外側(cè)，且該第2輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部內(nèi)側(cè)；

該第1輥?zhàn)蛹霸摰?輥?zhàn)樱谂c該第1方向交叉的第2方向，形成為可相互地往相反方向移動，且形成為一體的該上游側(cè)第2傳送部與該下游側(cè)第2傳送部，可成為互為不同的動作狀態(tài)。

2.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中該第1輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)樱谠摰?方向移動時(shí)，該第1輥?zhàn)拥囊苿泳嚯x與第2輥?zhàn)拥囊苿泳嚯x相同。

3.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中該第1輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)拥闹辽僖徽撸贿吘S持該第2傳送部的帶部張力，一邊與該帶部接觸。

4.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中該第1輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)樱趭A著與齒輪驅(qū)動馬達(dá)連結(jié)的小齒輪而相互地對向配置的狀態(tài)下，該第1輥?zhàn)优c嚙合于該小齒輪的第1齒條結(jié)合，該第2輥?zhàn)优c嚙合于該小齒輪的第2齒條結(jié)合。

5.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中在該多個(gè)輥?zhàn)又邪?輥?zhàn)樱摰?輥?zhàn)泳砝@有該下游側(cè)第2傳送部的帶部，且該第3輥?zhàn)舆B結(jié)帶部驅(qū)動馬達(dá)。

6.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中在該跳動輥?zhàn)訂卧校O(shè)置有該第1制動器，以及該第2制動器。

7.一種基板搬送方法，在包含具備在設(shè)置臺上沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔著間隔配置且在載置該基板的狀態(tài)下卷繞于多個(gè)輥?zhàn)佣M(jìn)行旋轉(zhuǎn)的帶部的第1傳送部及第2傳送部，以及設(shè)置于該第1傳送部與該第2傳送部之間并對該基板進(jìn)行刻劃的刻劃單元的基板分?jǐn)嘌b置中，將載置于該第2傳送部的帶部上的基板往該第1方向進(jìn)行搬送，其特征在于：

在該基板分?jǐn)嘌b置中，在該第1傳送部的帶部上，設(shè)置有沿該第1方向設(shè)置成可往前后移動的夾頭梁，以及形成于該夾頭梁一側(cè)并把持該基板的夾頭，在該第1方向，在位于該第2傳送部的上游側(cè)的上游側(cè)第2傳送部與位于下游側(cè)的下游側(cè)第2傳送部之間，具備在與該第1方向交叉的第2方向可移動的至少具有一對第1輥?zhàn)优c第2輥?zhàn)拥奶鴦虞佔(zhàn)訂卧⑹乖撋嫌蝹?cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)移動停止的第1制動器、以及使該下游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)移動停止的第2制動器；

在使該第1輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部外側(cè)、且使該第2輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部內(nèi)側(cè)的狀態(tài)下，使該第1輥?zhàn)优c第2輥?zhàn)釉谠摰?方向相互地往相反方向移動，借此使形成為一體的該上游側(cè)第2傳送部與下游側(cè)第2傳送部以互為不同的方式動作。

8.如權(quán)利要求7所述的基板搬送方法，其特征在于其中借由該第1輥?zhàn)优c第2輥?zhàn)拥耐狄苿樱谑乖撓掠蝹?cè)第2傳送部的帶部停止的狀態(tài)下，使該上游側(cè)第2傳送部的帶部往順時(shí)針方向或逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，且對載置于該上游側(cè)第2傳送部的帶部上的基板進(jìn)行刻劃；

在該進(jìn)行刻劃的階段，對置于停止?fàn)顟B(tài)的下游側(cè)第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板進(jìn)行卸載；

借由一邊使卷繞有該下游側(cè)第2傳送部的帶部的第3輥?zhàn)有D(zhuǎn)，一邊使該第1輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)右苿樱谑股嫌蝹?cè)第2傳送部的帶部停止的狀態(tài)下，使該下游側(cè)第2傳送部的帶部旋轉(zhuǎn)，對留置于該下游側(cè)第2傳送部的帶部上的端材進(jìn)行卸載；

亦在該端材卸載后，使該第3輥?zhàn)映掷m(xù)旋轉(zhuǎn)，使載置于該上游側(cè)第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板往該下游側(cè)第2傳送部的帶部上進(jìn)行搬送。

9.如權(quán)利要求8所述的基板搬送方法，其特征在于其中該第3輥?zhàn)舆B結(jié)帶部驅(qū)動馬達(dá)，且在對該基板進(jìn)行刻劃的階段，使該帶部驅(qū)動馬達(dá)的動作停止。