[發(fā)明專利]一種聲表面波諧振器及其制作方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410364106.X | 申請日： | 2014-07-28 |
| 公開（公告）號： | CN104092446A | 公開（公告）日： | 2014-10-08 |
| 發(fā)明（設計）人： | 高翔 | 申請（專利權）人： | 常州智梭傳感科技有限公司 |
| 主分類號： | H03H9/25 | 分類號： | H03H9/25;H03H3/007 |
| 代理公司： | 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429 | 代理人： | 徐琳淞 |
| 地址： | 213164 江蘇省常州市常武*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 表面波 諧振器 及其 制作方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種聲表面波諧振器的制作方法，其特征在于：包括一個叉指換能器(1)、設置于叉指換能器(1)兩側(cè)的反射柵(2)以及諧振空腔(3)；所述諧振空腔(3)位于叉指換能器(1)與反射柵(2)之間，或者位于叉指換能器(1)的中部；
步驟為：步驟一：以單端口反同步模式聲表面波諧振器為制作基礎，叉指換能器(1)電極的周期ΛIDT與反射柵(2)電極的周期ΛREF之間的關系為ΛIDT≠ΛREF；
步驟二：增加叉指換能器(1)的電極數(shù)量NIDT，直至出現(xiàn)同步諧振高峰；
步驟三：調(diào)整諧振空腔(3)的寬度d，直至出現(xiàn)反同步諧振高峰；
步驟四：微調(diào)叉指換能器(1)的電極數(shù)量NIDT，反射柵(2)的電極數(shù)量NREF,以及叉指換能器(1)電極的周期ΛIDT與反射柵(2)電極的周期ΛREF之比ΛIDT/ΛREF，直至同步諧振高峰的強度與反同步諧振高峰強度相等。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種聲表面波諧振器的制作方法，其特征在于：所述步驟二中：0.5<NIDT|Γ|<0.6，|Γ|為叉指換能器(1)每個電極的反射系數(shù)。
3.一種聲表面波諧振器，其特征在于：由權利要求1或2所述的方法得到。
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