[發(fā)明專利]基板分?jǐn)嘌b置及基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410364041.9
• 申請日: 2013-04-03
• 公開（公告）號: CN104129908B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 西尾仁孝
• 申請（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: C03B33/02
• 分類號: C03B33/02;C03B35/00
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11019
• 代理人: 壽寧,張華輝

1.一種基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其包含：

第1傳送部及第2傳送部，在設(shè)置臺上，沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔著間隔配置，且具備在載置該基板的狀態(tài)下卷繞于多個輥子而進行旋轉(zhuǎn)的帶部；

刻劃單元，設(shè)置于該第1傳送部與第2傳送部之間并對該基板進行刻劃；以及

跳動輥子單元，在該第1方向，設(shè)置在位于該第2傳送部的上游側(cè)的上游側(cè)第2傳送部與位于下游側(cè)的下游側(cè)第2傳送部之間，且至少具備一對第1輥子及第2輥子；

該第1輥子位于該第2傳送部的帶部外側(cè)，且該第2輥子位于該第2傳送部的帶部內(nèi)側(cè)；

該第1輥子及該第2輥子，在與該第1方向交叉的第2方向，形成為以可相互地往相反方向移動的方式相互連動，且形成為一體的該上游側(cè)第2傳送部與該下游側(cè)第2傳送部，可成為互為不同的動作狀態(tài)；

該第1輥子及第2輥子，在該第2方向相互地往相反方向移動時，該第1輥子的移動距離與第2輥子的移動距離相同。

2.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中該第1輥子及第2輥子的至少一者，一邊維持該第2傳送部的帶部張力，一邊與該帶部接觸。

3.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中該第1輥子及第2輥子，在夾著與齒輪驅(qū)動馬達連結(jié)的小齒輪而相互地對向配置的狀態(tài)下，分別與嚙合于該小齒輪的第1齒條及第2齒條結(jié)合。

4.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中在該多個輥子中包含第3輥子，該第3輥子卷繞有該下游側(cè)第2傳送部的帶部，且該第3輥子連結(jié)帶部驅(qū)動馬達。

5.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中在該跳動輥子單元中，設(shè)置有使該上游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)停止的第1制動器，以及使該下游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)停止的第2制動器。

6.一種基板搬送方法，在包含具備在設(shè)置臺上沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔著間隔配置且在載置該基板的狀態(tài)下卷繞于多個輥子而進行旋轉(zhuǎn)的帶部的第1傳送部及第2傳送部，以及設(shè)置于該第1傳送部與該第2傳送部之間并對該基板進行刻劃的刻劃單元的基板分?jǐn)嘌b置中，將載置于該第2傳送部的帶部上的基板往該第1方向進行搬送，其特征在于：

在該基板分?jǐn)嘌b置中，在該第1方向，在位于該第2傳送部的上游側(cè)的上游側(cè)第2傳送部與位于下游側(cè)的下游側(cè)第2傳送部之間，具備在與該第1方向交叉的第2方向以可相互地往相反方向移動的方式相互連動的至少具有一對第1輥子與第2輥子的跳動輥子單元；

在使該第1輥子位于該第2傳送部的帶部外側(cè)，且使該第2輥子位于該第2傳送部的帶部內(nèi)側(cè)的狀態(tài)下，使該第1輥子與第2輥子相互地往相反方向移動，借此使形成為一體的該上游側(cè)第2傳送部與下游側(cè)第2傳送部以互為不同的方式動作；

該第1輥子及第2輥子，在該第2方向相互地往相反方向移動時，該第1輥子的移動距離與第2輥子的移動距離相同。

7.如權(quán)利要求6所述的基板搬送方法，其特征在于其中借由該第1輥子與第2輥子的往返移動，在使該下游側(cè)第2傳送部的帶部停止的狀態(tài)下，使該上游側(cè)第2傳送部的帶部往順時針方向或逆時針方向旋轉(zhuǎn)，且對載置于該上游側(cè)第2傳送部的帶部上的基板進行刻劃；

在該進行刻劃的階段，對置于停止?fàn)顟B(tài)的下游側(cè)第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板進行卸載；

借由一邊使卷繞有該下游側(cè)第2傳送部的帶部的第3輥子旋轉(zhuǎn)，一邊使該第1輥子及第2輥子移動，在使上游側(cè)第2傳送部的帶部停止的狀態(tài)下，使該下游側(cè)第2傳送部的帶部旋轉(zhuǎn)，對留置于該下游側(cè)第2傳送部的帶部上的端材進行卸載；

亦在該端材卸載后，使該第3輥子持續(xù)旋轉(zhuǎn)，使載置于該上游側(cè)第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板往該下游側(cè)第2傳送部的帶部上進行搬送。

8.如權(quán)利要求7所述的基板搬送方法，其特征在于其中該第3輥子連結(jié)帶部驅(qū)動馬達，且在對該基板進行刻劃的階段，使該帶部驅(qū)動馬達的動作停止。

9.如權(quán)利要求8所述的基板搬送方法，其特征在于其中在對該端材進行卸載的階段，使該帶部驅(qū)動馬達動作。

10.如權(quán)利要求7所述的基板搬送方法，其特征在于其中在該跳動輥子單元，設(shè)置使該上游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)停止的第1制動器，以及使該下游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)停止的第2制動器，且在對該基板進行刻劃的階段，使該第2制動器動作。