[發明專利]一種集成ESD防護功能的高頻共模LC濾波設計方法

在審

• 申請號: 201410362080.5
• 申請日: 2014-07-28
• 公開（公告）號: CN105321876A
• 公開（公告）日: 2016-02-10
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工大華生電子有限公司
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77;H01L21/768;H01L21/98;H01L21/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種集成ESD防護功能的高頻共模LC濾波設計方法，其特征是用硅基制造的高頻共模濾波電感和TVS二極管進行組合封裝后形成一顆完整芯片的設計方法。

2.根據權利要求1所述的一種集成ESD防護功能的高頻共模LC濾波設計方法，其特征在于，制作高頻共模濾波電感時需要采用電阻率大于3K的區熔單晶硅片，在其上進行硅基底的制作及電感銅線圈的制作，利用硅基底實現高頻共模電感的設計，并依據封裝要求進行磨片。

3.根據權利要求1所述的一種集成ESD防護功能的高頻共模LC濾波設計方法，其特征在于，通過傳統的TVS設計工藝，實現一款高抗靜電、極低電容值的TVS二極管設計，并依據封裝要求進行磨片。

4.根據權利要求1所述的一種集成ESD防護功能的高頻共模LC濾波設計方法，其特征在于，將權利要求2和權利要求3中所述的硅基高頻共模濾波電感與TVS二極管進行組合封裝，實現性能高、體積小的發明設計理念。