[發(fā)明專利]一種可重復(fù)利用的多晶硅鑄錠用石英陶瓷坩堝及其制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410361870.1
• 申請日: 2014-07-28
• 公開（公告）號: CN104109903A
• 公開（公告）日: 2014-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張福軍;張伏嚴(yán);楊艷紅
• 申請（專利權(quán)）人: 常熟華融太陽能新型材料有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 南京知識律師事務(wù)所 32207
• 代理人: 汪旭東

1.一種可重復(fù)利用的多晶硅鑄錠用石英陶瓷坩堝，包括坩堝本體，其特征在于坩堝本體的上部設(shè)有上沿口，上沿口設(shè)置在石英坩堝本體上并可拆卸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可重復(fù)利用的多晶硅鑄錠用石英陶瓷坩堝,其特征在于其上沿口由內(nèi)層氮化硅板與外層石墨護板組成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可重復(fù)利用的多晶硅鑄錠用石英陶瓷坩堝，其特征在于上沿口高度占坩堝總高度的22%-38%。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的可重復(fù)利用的多晶硅鑄錠用石英陶瓷坩堝，其特征在于氮化硅板的厚度為3-7mm，石墨護板的厚度為10-20mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可重復(fù)利用的多晶硅鑄錠用石英陶瓷坩堝，其特征在于所述坩堝本體為高純石英陶瓷。

6.種如權(quán)利要求1所述的石英陶瓷坩堝的制備方法，包括以下步驟：

步驟一：按照原石英坩堝的生產(chǎn)工藝制備石英坩堝本體；

步驟二：將氮化硅板、石墨護板通過螺栓將其進行連接成與石英坩堝本體上部相適應(yīng)的形狀，即為石英坩堝上沿口；

步驟三：?將上述上沿口與石英坩堝本體相連接，固定，得到用于多晶硅鑄錠石英陶瓷坩堝。