[發明專利]一種框架式超聲清洗設備有效
| 申請號: | 201410354785.2 | 申請日: | 2014-07-24 |
| 公開(公告)號: | CN104241171B | 公開(公告)日: | 2017-08-11 |
| 發明(設計)人: | 蔡彤;張練佳;賁海蛟;梅余鋒 | 申請(專利權)人: | 如皋市易達電子有限責任公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677;B08B3/12 |
| 代理公司: | 北京一格知識產權代理事務所(普通合伙)11316 | 代理人: | 滑春生 |
| 地址: | 226500 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 框架 超聲 清洗 設備 | ||
1.一種框架式超聲清洗設備,其特征在于:包括清洗池、清洗池支架、工裝籃、工裝籃托架、提籃機構及推籃機構;所述清洗池有若干個,并列設置在所述清洗池支架上,且每個清洗池內均設置有工裝籃托架,所述工裝籃通過工裝籃托架限位放置在所述清洗池內,并通過提籃機構及推籃機構將該工裝籃推送到下一個清洗池進行下一個工序的清洗;所述清洗池為一開口的長方體,具有一進液口、一出液口及一溢流槽,所述進液口及出液口分別設置在清洗池前后兩側的底部,所述溢流槽設置在清洗池后側的上部;所述清洗池有兩種,分別為普通清洗池及超聲波清洗池,所述超聲波清洗池的底部設置有超聲波換能器;所述工裝籃托架呈L型,該工裝籃托架與所述清洗池滑動配合;所述提籃機構與所述工裝籃托架連接,該提籃機構由導座A、滑套A及提籃桿組成,所述滑套A與所述導座A上下滑動配合并安裝在所述清洗池支架的后側,該滑套A與所述提籃桿固定連接,該提籃桿由驅動缸驅動其在導座A上上下滑動;所述推籃機構由導座B、滑套B、推桿及連接桿組成,所述滑套B與所述導座B左右滑動配合并安裝在所述清洗池支架的前側的上表面;所述連接桿為一桿體A,該桿體A沿若干清洗池的排列方向延伸,且固定安裝在所述滑套B上;所述推桿為一桿體B,桿體B若干個,分別對應設置在若干清洗池上方,且垂直固定在連接桿上;所述連接桿由驅動缸驅動其在導座B上左右滑動;所述推籃機構,在每兩個清洗池相鄰邊沿的短軸方向的上表面均還設置有滑軌,該滑軌為一板體,有兩個,分別對稱設置在該兩個清洗池相鄰邊沿的長軸方向的兩端;工裝籃托架呈L型,與所述清洗池滑動配合,在該工裝籃托架的背面的底端安裝有一對滾輪。
2.根據權利要求1所述的一種框架式超聲清洗設備,其特征在于:所述滑軌為L型板。
3.根據權利要求1所述的一種框架式超聲清洗設備,其特征在于: 所述普通清洗池為水洗池,有三個,分別為第一水洗池、第二水洗池、第三水洗池,所述超聲波清洗池為酒精清洗池,有兩個,分別為第一酒精超聲波清洗池、第二酒精超聲波清洗池,所述第一水洗池、第二水洗池、第三水洗池、第一酒精超聲波清洗池、第二酒精超聲波清洗池由右至左依次并列安裝在所述清洗池支架上。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





