[發明專利]一種微波電子回旋共振等離子體源電磁線圈在審
| 申請號： | 201410354287.8 | 申請日： | 2014-07-19 |
| 公開（公告）號： | CN104202901A | 公開（公告）日： | 2014-12-10 |
| 發明（設計）人： | 丁育新 | 申請（專利權）人： | 大連麥斯維爾電磁設備有限公司 |
| 主分類號： | H05H1/46 | 分類號： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 無 | 代理人： | 無 |
| 地址： | 116000 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 微波 電子 回旋 共振 等離子體 電磁 線圈 | ||
【權利要求書】：
1.一種微波電子回旋共振等離子體源電磁線圈，包含有中空電磁線圈，其特征在于：在電磁線圈外部包覆有外部磁軛，在線圈兩端包覆有外端磁軛，外部磁軛與外端磁軛相連接，將整個電磁線圈完全覆蓋。
2.根據權利要求1所述的微波電子回旋共振等離子體源電磁線圈，其特征在于：在外端磁軛靠近中心口處內側設置有環形凸起，用于增強線圈內磁感應強度梯度。
3.根據權利要求1或2所述的微波電子回旋共振等離子體源電磁線圈，其特征在于：所述的外部磁軛和外端磁軛均為軟磁材料。
4.根據權利要求1或2所述的微波電子回旋共振等離子體源電磁線圈，其特征在于：所述的外部磁軛和外端磁軛由多塊磁軛組件拼裝組成。
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