[發明專利]多個可動鏡片共用光柵尺的回零裝置及控制方法

有效

• 申請號: 201410348746.1
• 申請日: 2014-07-22
• 公開（公告）號: CN104111591A
• 公開（公告）日: 2014-10-22
• 發明（設計）人: 胡小邦;張友寶;孫征宇;楊寶喜;李璟;黃惠杰
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G05D3/12
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種用于光刻設備中的多個可動鏡片共用光柵尺的回零裝置，其特征在于該裝置包括：底座、N個可動鏡片、運動控制主控模塊(1)、信號處理模塊(2)、驅動模塊(3)、光柵尺反饋模塊、N個限位感應塊(71、72、73)及N個電機(81、82、83)，其中N為3以上是正整數；?

所述的底座，包括N根絲桿(41、42、43)，用于承放N個可動鏡片(51、52、53)、光柵尺反饋模塊及N個電機(81、82、83)；?

所述的光柵尺反饋模塊由1個光柵尺(61)、N個光柵尺讀數頭(6201、6202、6203)組成，N個光柵尺讀數頭與N個可動鏡片聯動，分別用于N個可動鏡片位移的檢測，設定光柵尺(61)的零位(63)位于光柵尺的中間位置；所述的運動控制主控模塊(1)經所述的信號處理模塊(2)、驅動模塊(3)與N個電機(81、82、83)相連，在所述的運動控制主控模塊(1)的指令下，所述的驅動模塊(3)驅動電機(81)驅動相應的絲桿(41)帶動相應的可動鏡片(51)運動，所述的相應的光柵尺讀數頭(6201)記錄所述的可動鏡片(51)在光柵尺(61)的位置并輸入所述的信號處理模塊(2)。?

2.一種利用上述回零裝置的回零運動控制方法，其特征在于該方法包括如下步驟：?

1)確定N個可動鏡片(51、52、53)的初始位置(71、72、73)和相對零位(L1，L2，L3)：?

所述的N個可動鏡片(51、52、53)的初始位置(71、72、73)由相應的硬件限位感應塊(71、72、73)的位置確定，所述的N個可動鏡片(51、52、53)的相對零位(L1，L2，L3)由事先設定的偏離光柵尺(61)的零位(63)的位置，?

2)運動控制主控模塊有序地發出限位信號，所述的驅動模塊通過第1電機(81)驅動第1絲桿(41)帶動第1可動鏡片(51)，當第1可動鏡片(51)到達第1限位感應塊(71)位置時，第1可動鏡片(51)到達初始位置；通過第2電機(82)驅動第2絲桿(42)帶動第2可動鏡片(52)，當第2可動鏡片(52)到達第2限位感應塊(72)的位置時，第2可動鏡片(51)到達初始位置；……，第N電機(83)驅動第N絲桿(42)帶動第N可動鏡片(52)，當第N可動鏡片(53)到達第N限位感應塊(73)的位置時，第N可動鏡片(53)到達初始位置第N可動鏡片(53)?到達初始位置；?

3)運動控制主控模塊有序地發出回零信號，所述的驅動模塊通過第N電機(83)驅動第N絲桿(43)帶動第N可動鏡片(53)，第N可動鏡片(53)尋找到光柵尺(61)零位(63)后并到達第N可動鏡片(53)的相對零位(L3)；……，所述的驅動模塊通過第2電機(82)驅動第2絲桿(42)帶動第2可動鏡片(52)，當第2可動鏡片(52)到達第2可動鏡片(52)的相對零位(L2)；所述的驅動模塊通過第1電機(81)驅動第1絲桿(41)帶動第1可動鏡片(51)，當第1可動鏡片(51)到達第1可動鏡片(51)的相對零位(L1)；?

4)至此所有多個可動鏡片均到達各自的零位，各可動鏡片的回零運動結束。?