[發明專利]一種Cu電極太陽能電池及其制備方法

在審

• 申請號: 201410348419.6
• 申請日: 2014-07-22
• 公開（公告）號: CN104124289A
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 石強;秦崇德;方結彬;何達能;陳剛
• 申請（專利權）人: 廣東愛康太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/18
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 溫旭

1.一種Cu電極太陽能電池，其特征在于，包括Cu背電極、Al背場、P型硅、N型發射極、鈍化膜、透明導電氧化物薄膜和Cu正電極，所述Cu背電極、Al背場、P型硅、N型發射極、鈍化膜、透明導電氧化物薄膜和Cu正電極依次相連。

2.如權利要求1所述的Cu電極太陽能電池，其特征在于，所述鈍化膜上設有孔或者槽，所述透明導電氧化物薄膜填滿所述孔或者槽，且與所述N型發射極相接觸。

3.如權利要求2所述的Cu電極太陽能電池，其特征在于，所述孔或者槽的面積占所述鈍化膜的面積的3-35%。

4.如權利要求1-3任一項所述的Cu電極太陽能電池，所述透明導電氧化物薄膜為摻錫氧化銦、氧化鋅、摻鋁氧化鋅或摻鉬氧化銦的薄膜，其中，所述摻錫氧化銦中錫的質量含量為1%-15%，所述摻鋁氧化鋅中鋁的質量含量為0.1%-10%，所述摻鉬氧化銦中鉬的質量含量為0.1%-10%；

所述透明導電氧化物薄膜的厚度為8-55nm；

所述透明導電氧化物薄膜的透光率≥92%；

所述透明導電氧化物薄膜的電阻率<10^-5Ω.cm。

5.一種制備權利要求1-4任一項所述的Cu電極太陽能電池的方法，其特征在于，包括：

選取P型硅片為基底材料；

對硅片的表面進行刻蝕處理，使硅片的表面形成絨面；

將經過制絨的硅片通過擴散形成N型發射極；

在N型發射極的正面制備鈍化膜；

對鈍化膜的正面進行刻蝕，使鈍化膜形成孔或槽；

在設有孔或槽的鈍化膜上鍍透明導電氧化物薄膜；

在硅片背面印刷形成Cu背電極和Al背電場；

在透明導電氧化物薄膜的正面印刷形成Cu正電極，得到初產品；

將初產品進行燒結，得到成品。

6.如權利要求5所述的Cu電極太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述透明導電氧化物薄膜填滿所述孔或者槽，且與所述N型發射極相接觸。

7.如權利要求6所述的Cu電極太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述孔或者槽的面積占所述鈍化膜的面積的3-35%。

8.如權利要求5-7任一項所述的Cu電極太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述透明導電氧化物薄膜為摻錫氧化銦、氧化鋅、摻鋁氧化鋅或摻鉬氧化銦的薄膜，其中，所述摻錫氧化銦中錫的質量含量為1%-15%，所述摻鋁氧化鋅中鋁的質量含量為0.1%-10%，所述摻鉬氧化銦中鉬的質量含量為0.1%-10%；

所述透明導電氧化物薄膜的厚度為8-55nm；

所述透明導電氧化物薄膜的透光率≥92%；

所述透明導電氧化物薄膜的電阻率<10^-5Ω.cm。

9.如權利要求5-7任一項所述的Cu電極太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述絨面的反射率控制在1%-30%；

所述N型發射極的控制方塊電阻為50-120歐/□；

所述鈍化膜的厚度控制在10-70nm；

所述初產品的燒結氣氛為氧氣和氮氣，其中，氧氣和氮氣的體積比為3～15：80。

10.如權利要求5-7任一項所述的Cu電極太陽能電池的制備方法，其特征在于，在將經過制絨的硅片通過擴散形成N型發射極和在N型發射極的正面制備鈍化膜的步驟之間，還包括：?

去除擴散過程形成的磷硅玻璃。