[發明專利]光學濾波器裝置、光學模塊、電子設備及MEMS設備

有效

• 申請號: 201410348032.0
• 申請日: 2014-07-21
• 公開（公告）號: CN104345365B
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發明（設計）人: 廣久保望
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B5/28
• 分類號: G02B5/28;G02B26/00;G01J3/46;G01N21/65;G01N21/359
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種光學濾波器裝置，其特征在于，

具備：

干涉濾波器，具備第一反射膜、與所述第一反射膜相對的第二反射膜、以及設置有所述第一反射膜和所述第二反射膜中的任意一個的基板；

殼體，具有能夠容納所述干涉濾波器的內部空間；以及

固定部，將所述干涉濾波器固定于所述殼體，

所述固定部設置在沿著所述基板的厚度方向的所述基板的側面與所述殼體之間，

所述側面的一部分構成平面形狀的第一側面，所述固定部設置在所述第一側面，

所述固定部設置在所述第一側面的一個位置。

2.根據權利要求1所述的光學濾波器裝置，其特征在于，

所述干涉濾波器具備第一基板和第二基板作為所述基板，所述第一基板設置有所述第一反射膜，所述第二基板與所述第一基板相對并設置有所述第二反射膜，

所述固定部設置在所述第一基板和所述第二基板中的任意一方的所述側面。

3.根據權利要求2所述的光學濾波器裝置，其特征在于，

所述第一基板和所述第二基板中的任意一個基板在從厚度方向觀察到的所述基板的俯視觀察中具有向另一個基板突出的突出部，

所述固定部設置于所述突出部。

4.根據權利要求2所述的光學濾波器裝置，其特征在于，

所述第二基板具備：可動部，所述可動部設置有所述第二反射膜；以及保持部，所述保持部使所述可動部在所述厚度方向上能夠位移地保持所述可動部，

所述固定部設置在所述第一基板的所述側面。

5.根據權利要求1所述的光學濾波器裝置，其特征在于，

所述基板在從基板厚度方向觀察到的該基板的俯視觀察中，在沿著該基板的外周緣的一部分上具備電裝部，所述電裝部具有與設置于所述殼體的殼體側端子電連接的連接端子，

所述第一側面是所述電裝部的側面。

6.根據權利要求1所述的光學濾波器裝置，其特征在于，

所述側面包括平面形狀的第一側面以及與所述第一側面平行的第二側面，

所述固定部分別設置在所述第一側面以及所述第二側面。

7.根據權利要求6所述的光學濾波器裝置，其特征在于，

設置在所述第一側面的所述固定部和設置在所述第二側面的所述固定部設置在相對于通過所述基板的中心、與所述第一側面和所述第二側面平行的虛擬平面對稱的位置上。

8.根據權利要求1所述的光學濾波器裝置，其特征在于，

所述側面包括平面形狀的第一側面和與所述第一側面連續并沿著與所述第一側面交叉的平面的第三側面，

所述固定部跨所述第一側面和所述第三側面而設置。

9.根據權利要求1所述的光學濾波器裝置，其特征在于，

所述殼體具備將所述干涉濾波器支撐于所述殼體的支撐部，

所述固定部設置在所述側面與所述支撐部之間。

10.一種光學模塊，其特征在于，

具備：

權利要求1所述的光學濾波器裝置；以及

檢測部，檢測通過所述干涉濾波器取出的光。

11.一種電子設備，其特征在于，

具備：

權利要求1所述的光學濾波器裝置；以及

控制部，控制所述干涉濾波器。

12.一種MEMS設備，其特征在于，

具備：

MEMS元件，具備基板；

殼體，具有能夠容納所述MEMS元件的內部空間；以及

固定部，將所述MEMS元件固定于所述殼體，

所述固定部設置在沿著所述基板的厚度方向的所述基板的側面與所述殼體之間，

所述側面的一部分構成平面形狀的第一側面，所述固定部設置在所述第一側面，

所述固定部設置在所述第一側面的一個位置。