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[發明專利]硬質材料減薄拋光的工藝方法在審

專利信息
申請號: 201410347525.2 申請日: 2014-07-21
公開(公告)號: CN104128879A 公開(公告)日: 2014-11-05
發明(設計)人: 朱孟奎 申請(專利權)人: 上海百蘭朵電子科技有限公司
主分類號: B24B37/04 分類號: B24B37/04
代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411 代理人: 董曉慧
地址: 200438 上海*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 硬質 材料 拋光 工藝 方法
【權利要求書】:

1.硬質材料減薄拋光的工藝方法,其特征是利用合成銅盤研磨盤和研磨液;硬質材料的待減薄拋光面與合成銅盤研磨盤充分接觸,對硬質材料進行加重;合成銅盤研磨盤轉動對硬質材料進行減薄拋光;

合成銅盤研磨盤轉動時,同時滴加研磨液。

2.如權利要求1所述的硬質材料減薄拋光的工藝方法,其特征是:所述的硬質材料進行加重的重量為20~50kg。

3.如權利要求1所述的硬質材料減薄拋光的工藝方法,其特征是:所述的合成銅盤研磨盤包括螺旋倒梯形槽;所述的螺旋倒梯形槽的槽寬度為1~2.5mm,槽深度為0.1~0.5mm。

4.如權利要求1-3任一項所述的硬質材料減薄拋光的工藝方法,其特征是:所述的合成銅盤研磨盤的轉速為30~90r/min。

5.如權利要求4所述的硬質材料減薄拋光的工藝方法,其特征是:所述的研磨液的滴加速度為1~2滴/4秒。

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