[發明專利]用于微細加工原子鐘、磁力計和其他裝置的具有由通道連接的腔的汽室結構

在審

• 申請號: 201410347317.2
• 申請日: 2014-07-21
• 公開（公告）號: CN104345634A
• 公開（公告）日: 2015-02-11
• 發明（設計）人: R·伯爾薩;P·J·霍佩爾
• 申請（專利權）人: 德克薩斯儀器股份有限公司
• 主分類號: G04F5/14
• 分類號: G04F5/14;G01R33/02
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 趙蓉民

1.一種設備，其包括：

汽室，其具有由多個通道流體連接的第一腔和第二腔；

所述第一腔，其被配置以接收能夠分解成包含在所述汽室內的一種或更多種氣體的材料；和

所述第二腔，其被配置以接收所述一種或更多種氣體；

其中所述汽室被配置以允許輻射穿過所述第二腔。

2.根據權利要求1所述的設備，其中所述汽室包括：

包括所述腔和所述通道的第一晶片。

3.根據權利要求2所述的設備，其中所述汽室進一步包括：

固定到所述第一晶片的至少一個第二晶片，所述至少一個第二晶片密封所述腔和所述通道的端部。

4.根據權利要求2所述的設備，其中：

所述汽室進一步包括固定至所述第一晶片的第二晶片；并且

所述第二晶片在靠近所述第一腔的位置中較薄。

5.根據權利要求1所述的設備，其中所述汽室包括：

包括所述腔的第一晶片；和

固定至所述第一晶片的第二晶片，所述第二晶片包括所述通道。

6.根據權利要求1所述的設備，其中所述材料包括基于堿金屬的材料，所述基于堿金屬的材料能夠分解成金屬蒸汽和緩沖氣體。

7.根據權利要求6所述的設備，其中所述材料包括疊氮化銫，即CsN₃，并且其能夠分解成銫蒸汽和氮氣即N₂。

8.一種系統，其包括：

汽室，其包括：

由多個通道流體連接的第一腔和第二腔；

所述第一腔被配置以接收能夠分解成包含在所述汽室內的一種或更多種氣體的材料；以及

所述第二腔被配置以接收所述一種或更多種氣體；和

照明源，其被配置以引導輻射通過所述第二腔。

9.根據權利要求8所述的系統，其中所述汽室包括：

包括所述腔和所述通道的第一晶片。

10.根據權利要求9所述的系統，其中所述汽室進一步包括：

固定至所述第一晶片的至少一個第二晶片，所述至少一個第二晶片密封所述腔和所述通道的端部。

11.根據權利要求9所述的系統，其中：

所述汽室進一步包括固定至所述第一晶片的第二晶片；并且

所述第二晶片在靠近所述第一腔的位置中較薄。

12.根據權利要求8所述的系統，其中所述汽室包括：

包括所述腔的第一晶片；和

固定至所述第一晶片的第二晶片，所述第二晶片包括所述通道。

13.根據權利要求8所述的系統，其中所述材料包括基于堿金屬的材料，所述基于堿金屬的材料能夠分解為金屬蒸汽和緩沖氣體。

14.根據權利要求13所述的系統，其中所述材料包括疊氮化銫，即CsN₃，并且其能夠分解成銫蒸汽和氮氣即N₂。

15.根據權利要求8所述的系統，其進一步包括：

時鐘發生電路，其被配置以基于引導通過所述第二腔的所述輻射產生時鐘信號。

16.根據權利要求8所述的系統，其進一步包括：

磁場計算器，其被配置以基于引導通過所述第二腔的所述輻射確定通過所述汽室的磁場的測量。

17.一種設備，其包括：

汽室，其具有包括第一腔和第二腔的第一晶片和包括流體連接所述腔的一個或更多個通道的第二晶片；

所述第一腔被配置以接收能夠分解成包含在所述汽室內的一種或更多種氣體的材料；以及

所述第二腔被配置以接收所述一種或更多種氣體；

其中所述汽室被配置以允許輻射穿過所述第二腔。

18.根據權利要求17所述的設備，其中所述汽室進一步包括：

固定至所述第一晶片的第三晶片，所述第三晶片密封所述腔的端部。

19.根據權利要求17所述的設備，其中所述第二晶片在靠近所述第一腔的位置中較薄。

20.根據權利要求17所述的設備，其中所述材料包括基于堿金屬的材料，所述基于堿金屬的材料能夠分解為金屬蒸汽和緩沖氣體。