[發明專利]壓電膜制造方法、振動片、振子、振蕩器、設備和移動體在審
| 申請號： | 201410347246.6 | 申請日： | 2014-07-21 |
| 公開（公告）號： | CN104333338A | 公開（公告）日： | 2015-02-04 |
| 發明（設計）人： | 山崎隆;巖本修 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | H03H3/02 | 分類號： | H03H3/02;H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 李輝;黃綸偉 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓電 制造 方法 振動 振蕩器 設備 移動 | ||
【權利要求書】：
1.一種壓電膜制造方法，其特征在于，
所述壓電膜制造方法包括以下工序：在N2氣體和Ar氣體的混合氣氛中，將Al-Cu合金作為成膜材料，使用濺射法形成壓電膜。
2.根據權利要求1所述的壓電膜制造方法，其特征在于，
作為所述成膜材料的所述Al-Cu合金中的Cu的含有率在0.25％質量百分比～1.0％質量百分比的范圍內。
3.根據權利要求1所述的壓電膜制造方法，其特征在于，
作為所述成膜材料的Al-Cu合金中的Cu的含有率在0.4％質量百分比～0.6％質量百分比的范圍內。
4.根據權利要求1所述的壓電膜制造方法，其特征在于，
所述N2氣體與所述Ar氣體的混合比在N2氣體50％體積百分比：Ar氣體50％體積百分比～N2氣體99％體積百分比：Ar氣體1％體積百分比的范圍內。
5.一種振動片，其特征在于，
所述振動片具有基部和從所述基部延伸的振動臂，
所述振動臂具有在晶界中含有Cu的壓電膜。
6.一種振子，其特征在于，該振子具有：
權利要求5所述的振動片；以及
收納所述振動片的封裝。
7.一種振蕩器，其特征在于，該振蕩器具有：
權利要求5所述的振動片；以及
使所述振動片振蕩的振蕩電路。
8.一種電子設備，其特征在于，該電子設備具有權利要求5所述的振動片。
9.一種移動體，其特征在于，該移動體具有權利要求5所述的振動片。
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